[发明专利]一种高能激光反射光学元件的在线测试方法及系统

权利要求书

1.一种高能激光反射光学元件的在线测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

在打开高能激光源(1)前，用干涉仪(9)测试待测的反射光学元件(5)的第一面形数据；

在打开高能激光源(1)后，再次用干涉仪(9)测试反射光学元件(5)的第二面形数据，并在高能激光经过反射光学元件(5)反射前用第一光束质量测试设备(4)测试得到第一光束质量，在高能激光经过反射光学元件(5)反射后用第二光束质量测试设备(7)测试得到第二光束质量；

对比第一面形数据和第二面形数据之差是否大于第一设定数值，以及对比第一光束质量和第二光束质量的差值是否大于第二设定数值，以判断反射光学元件(5)是否满足要求；

在高能激光源(1)和反射光学元件(5)之间设置取样楔镜(3)，在高能激光经过反射光学元件(5)反射前采用取样楔镜(3)取样高能激光，并用第一光束质量测试设备(4)测试得到第一光束质量，取样楔镜(3)包括第一楔镜(31)和第二楔镜(32)，其中，第一楔镜(31)设于所述高能激光源(1)和反射光学元件(5)之间，用于透射出大部分的高能激光至反射光学元件(5)，反射出小部分的高能激光作为取样；第二楔镜(32)设于所述第一楔镜(31)的反射光路上，用于反射取样的高能激光至第一光束质量测试设备(4)；

所述第一光束质量测试设备(4)包括第一缩束装置(41)和第一光束质量测试装置(42)，依次设在所述取样楔镜(3)射出高能激光光束的光路上；

第二光束质量测试设备(7)包括第二缩束装置(71)和第二光束质量测试装置(72)，其依次设在所述反射光学元件(5)的反射光路上。

2.一种高能激光反射光学元件的在线测试系统，其特征在于，包括：

第一光束质量测试设备(4)，其用于在高能激光经过反射光学元件(5)反射前测试得到第一光束质量；

第二光束质量测试设备(7)，其用于在高能激光经过反射光学元件(5)反射后测试得到第二光束质量，并与所述第一光束质量对比以判断反射光学元件(5)是否满足要求；

干涉仪(9)，其用于朝向所述反射光学元件(5)的反射面设置，并检测高能激光源(1)打开前和打开后的面形数据以判断反射光学元件(5)是否满足要求；

取样楔镜(3)，其包括：

第一楔镜(31)，其设于所述高能激光源(1)和反射光学元件(5)之间，用于透射出大部分的高能激光至反射光学元件(5)，反射出小部分的高能激光作为取样；

第二楔镜(32)，设于所述第一楔镜(31)的反射光路上，用于反射取样的高能激光至第一光束质量测试设备(4)；

所述第一光束质量测试设备(4)包括第一缩束装置(41)和第一光束质量测试装置(42)，依次设在所述取样楔镜(3)射出高能激光光束的光路上；

第二光束质量测试设备(7)，包括第二缩束装置(71)和第二光束质量测试装置(72)，其依次设在所述反射光学元件(5)的反射光路上。

3.如权利要求2所述的高能激光反射光学元件的在线测试系统，其特征在于：所述干涉仪(9)和所述反射光学元件(5)之间设有窄带滤光片(91)，其用于滤除高能激光的散射光。

4.如权利要求2所述的高能激光反射光学元件的在线测试系统，其特征在于，还包括红外热像仪(10)，其朝向所述反射光学元件(5)设置，用于监测和记录测试过程中所述反射光学元件(5)的温度。

5.如权利要求2所述的高能激光反射光学元件的在线测试系统，其特征在于，还包括高反镜(6)，其用于倾斜地设在所述反射光学元件(5)的反射光路上，所述第二光束质量测试设备(7)设置在设在所述高反镜(6)的透射光路上。

6.如权利要求5所述的高能激光反射光学元件的在线测试系统，其特征在于：还包括高能激光截止装置(8)，其用于设在所述高反镜(6)的反射光路上，用于吸收截止所述高反镜(6)反射的高能激光的能量，所述高能激光截止装置(8)与所述高反镜(6)之间还设有负透镜(81)，其用于分散高能激光的能量。

7.如权利要求2所述的高能激光反射光学元件的在线测试系统，其特征在于，还包括光斑尺寸调节装置(2)，其用于在高能激光源(1)和反射光学元件(5)之间调节高能激光光束的尺寸。