[发明专利]一种红外热辐射光源发光特性的测量方法和装置在审
申请号: | 202010595707.7 | 申请日: | 2020-06-28 |
公开(公告)号: | CN111595439A | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 范元媛;邱乙耕;亓岩;颜博霞;王延伟;韩哲;齐月静;王宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01J1/02 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 红外 热辐射 光源 发光 特性 测量方法 装置 | ||
1.一种红外热辐射光源发光特性的测量方法,其特征在于,所述方法包括:
利用光电探测器获取红外辐射光源在设定角度的实时光功率;其中,所述光电探测器的感光区域中心点与所述红外辐射光源的设定位置的距离为设定长度;
根据所述实时光功率,判断所述红外辐射光源的光功率的增长趋势是否符合一次函数关系;
若是,则控制所述红外辐射光源在水平面内以第一路径绕所述设定位置转动;其中,所述第一路径为由最小测量角度到最大测量角度再到所述最小测量角度的路径;所述第一路径中所述红外辐射光源经若干次转动到达若干个第一测量角度;所述若干次转动中每次转动的旋转角度均为设定角度;所述若干次转动中每次转动的速度均为设定速度;所述若干次转动中相邻转动的间隔时间为第一设定时间;所述最小测量角度为所述红外辐射光源的中轴线正对所述光电探测器的感光区域时所述红外辐射光源的中轴线与所述光电探测器的感光区域的法线方向之间的角度;所述最大测量角度为所述光电探测器能够检测到所述红外辐射光源的所述红外辐射光源的中轴线与所述光电探测器的感光区域的法线方向之间的最大劣角;
利用所述光电探测器获取所述若干个第一测量角度对应的第一测量光功率阵列;
控制所述红外辐射光源在水平面内以第二路径绕所述设定位置旋转;其中,所述第二路径为由所述最大测量角度到所述最小测量角度再到所述最大测量角度的路径;所述第二路径中所述红外辐射光源经若干次旋转到达若干个第二测量角度;所述若干次旋转中每次旋转的旋转角度均为所述设定角度;所述若干次旋转中每次旋转的速度均为所述设定速度;所述若干次旋转中相邻旋转的间隔时间为所述第一设定时间;
利用所述光电探测器获取所述若干个第二测量角度对应的第二测量光功率阵列;
根据所述第一测量光功率阵列和所述第二测量光功率阵列,获取所述红外热辐射光源的光强分布。
2.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述根据所述实时光功率,判断所述红外辐射光源的光功率的增长趋势是否符合一次函数关系,包括:
判断所述红外辐射光源的第一实时光功率P1、第二实时光功率P2、第三实时光功率P3和第四实时光功率P4是否符合不等式组;其中所述不等式组的表达式为:
其中,第一实时光功率P1、第二实时光功率P2、第三实时光功率P3和第四实时光功率P4的采集时间依次间隔第二设定时间;ΔP为设定最大波动功率;
若是,则认定所述红外辐射光源的光功率的增长趋势符合一次函数关系。
3.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述根据所述第一测量光功率阵列和所述第二测量光功率阵列,获取所述红外热辐射光源的光强分布,包括:
按照所述红外辐射光源的测量角度对所述第一测量光功率阵列和所述第二测量光功率阵列中的数据进行聚类处理,构建测量光功率矩阵;其中,所述测量角度为测量时所述红外辐射光源的中轴线与所述光电探测器的感光区域的法线方向之间的劣角;
对所述测量光功率矩阵进行归一化处理,获取归一化测量光功率矩阵;
对所述归一化测量光功率矩阵中每个所述红外辐射光源的测量角度对应的数据进行均值计算,获取所述红外热辐射光源的光强分布。
4.根据权利要求3所述的测量方法,其特征在于,所述对所述测量光功率矩阵进行归一化处理,获取归一化测量光功率矩阵,包括:
获取所述测量光功率矩阵的每个行向量中的最大数值;其中,所述测量光功率矩阵的列向量为所述测量角度中同一测量角度对应的数据;所述测量光功率矩阵的行向量为所述测量角度中不同测量角度对应的数据;
根据所述每个行向量中的最大数值,对所述每个行向量进线归一化处理,获取所述归一化测量光功率矩阵。
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