[发明专利]用于真空系统的后级泵控制系统及控制方法

权利要求书

1.一种用于真空系统的后级泵控制方法，其特征在于：采用的真空系统包括真空腔室、后级泵、前级泵、电控阀、真空传感器、控制单元；所述后级泵的抽气口与所述真空腔室连通，所述后级泵的排气口通过所述电控阀与所述前级泵的抽气口连通；所述控制单元的信号输入接口分别与所述真空传感器和后级泵内置温度传感器的检测信号输出接口连接，用于检测所述真空腔室内的真空度和所述后级泵的工作温度；所述控制单元的控制信号输出接口分别与所述前级泵的控制器、所述后级泵的控制器和所述电控阀的控制器的控制信号输入接口连接，用于控制后级泵的抽速和前级泵、电控阀的开启/关闭；前级泵为机械真空泵，后级泵为分子真空泵；

采用的后级泵控制方法包括下述步骤：

步骤1，判断所述前级泵是否开启，只有当前级泵开启后，才能开启所述电控阀和所述后级泵；

步骤2，当后级泵开启时，实时读取后级泵的工作温度t和转速n；

当后级泵的工作温度t高于或等于第一预设温度t₁时，关闭后级泵；

当后级泵的工作温度t低于第一预设温度t₁，且高于或等于第二预设温度t₂时，控制单元控制后级泵的抽速与工作温度t成反比；

当后级泵的工作温度t低于第二预设温度t₂时，后级泵抽速脱离后级泵工作温度的控制；其中，t₁＞t₂；

步骤3，反复循环操作步骤1和步骤2，以实现后级泵与真空系统的持续稳定工作。

2.根据权利要求1所述用于真空系统的后级泵控制方法，其特征在于：所述后级泵与所述前级泵的额定抽速的比值大于300；

所述控制单元的信号输入接口与所述前级泵内置温度传感器的检测信号输出接口连接，用于检测前级泵的工作温度。

3.根据权利要求1所述用于真空系统的后级泵控制方法，其特征在于：在步骤2中，当t＜t₁时，所述控制单元控制后级泵的转速n在最小预设转速n_min和最大预设转速n_max之间；当控制单元根据后级泵工作温度t控制后级泵的转速n增加至所述最大预设转速n_max或降低至所述最小预设转速n_min时，控制后级泵保持当前转速；当t=t₂时，控制单元控制后级泵的转速小于或等于最大预设转速n_max。

4.根据权利要求1所述用于真空系统的后级泵控制方法，其特征在于：所述第一预设温度t₁满足：55℃≤t₁≤90℃。

5.根据权利要求1所述用于真空系统的后级泵控制方法，其特征在于：所述第一预设温度t₁满足：75℃≤t₁≤85℃。

6.根据权利要求1所述用于真空系统的后级泵控制方法，其特征在于：所述第二预设温度t₂满足：35℃≤t₂≤80℃。