[发明专利]一种共光路相移数字全息显微测量装置有效
| 申请号： | 202010597987.5 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111796501B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘丙才;冯方;田爱玲;刘卫国;王红军;朱学亮;岳鑫;潘永强 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G03H1/04 | 分类号： | G03H1/04;G03H1/12;G01B11/24;G01B9/021 |
| 代理公司： | 西安利泽明知识产权代理有限公司 61222 | 代理人： | 林兵 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 共光路 相移 数字 全息 显微 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种共光路相移数字全息显微测量装置，其特征在于，包括沿光路方向依次固定设置的光纤激光器(1)、光纤准直器(2)、可调衰减器(3)、显微物镜(5)、平面平晶I(6)、平面平晶II(7)、压电陶瓷驱动器(8)、会聚透镜(9)、滤波器(10)和成像探测器件(11)，所述成像探测器件(11)通过电缆与计算机(12)连接，所述光纤激光器(1)与光纤准直器(2)通过单模光纤连接，所述显微物镜(5)的焦平面上放置待测样品(4)，所述平面平晶I(6)和所述平面平晶II(7)紧邻，所述平面平晶I(6)后表面镀增透膜，所述平面平晶II(7)前表面镀有高反膜，后表面与所述压电陶瓷驱动器(8)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置，其特征在于，所述压电陶瓷驱动器(8)与计算机(12)用控制线连接。
3.根据权利要求2所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置，其特征在于，滤波器(10)置于平面平晶I(6)前表面反射光束的会聚焦点处。
4.根据权利要求3所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置，其特征在于，所述滤波器(10)包括针孔滤波窗口(14)和圆孔滤波窗口(15)。
5.根据权利要求1所述的一种共光路相移数字全息显微测量装置，其特征在于，所述可调衰减器(3)和显微物镜(5)之间还设置有分束镜(13)。
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