[发明专利]一种插片机分区域控制系统及控制方法

权利要求书

1.一种基于插片机分区域控制系统的控制方法，所述插片机分区域控制系统包括花篮流转工位控制单元、硅片流转工位控制单元、机器人工位控制单元和横移工位控制单元；其中一个工位的控制单元为主控制单元，所述主控制单元的供电电源的输入端用于连接外部电源，所述主控制单元的供电电源的输出端则分别与其它各工位控制单元的电源相连；各工位控制单元之间相互通讯连接以形成环网，其特征在于，包括：

在初始状态下，一键启动各个工位控制单元；

在某个工位控制单元出现故障时，故障的工位控制单元跳出自动模式，进入故障状态，其他工位控制单元则不受影响；

故障处理完成后，重新启动此工位控制单元，进入自动模式。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述花篮流转工位控制单元、硅片流转工位控制单元、机器人工位控制单元和横移工位控制单元各自对应独立的控制指令以及独立的运行状态显示。

3.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述花篮流转工位控制单元、硅片流转工位控制单元、机器人工位控制单元和横移工位控制单元之间有软件手自动互锁。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的控制方法，其特征在于，所述主控制单元连接有触摸屏，触摸屏包含整套系统的信号反馈显示，报警记录，手自动按钮，分段模式控制按钮，一键启动，设备运行状态；

当处于初始状态时，可以按触摸屏上的一键启动按钮，设备初始化，然后进入自动状态；

运行的过程中，某工位控制单元出现故障，该工位控制单元会停止运行，进入故障状态，其他区域正常运行，同时触摸屏会显示故障代码；

待故障处理完成后，可以选择分段模式控制按钮重启故障工位控制单元，正常运行。

5.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述主控制单元的供电电源的输入端与外部电源之间设置有总急停开关；所述主控制单元的供电电源的输出端与其它各工位控制单元的电源之间设置有独立急停开关。

6.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述主控制单元连接有触摸屏。

7.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，各工位控制单元之间通过PN网线连接。