[发明专利]光栅部件及其制造方法在审
| 申请号： | 202010598440.7 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112147729A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 青木敏彦;三宅耕作 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G01D5/347 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光栅 部件 及其 制造 方法 | ||
1.一种光栅部件，其特征在于，
该光栅部件具备：
在第1主面具备光学光栅的透明的第1基板；以及
在第1主面具备光学光栅的透明的第2基板；
所述第1基板的与该第1基板的所述第1主面相对的第2主面和所述第2基板的与该第2基板的所述第1主面相对的第2主面彼此接合。
2.根据权利要求1所述的光栅部件，其特征在于，
该光栅部件具备设于所述第1基板与所述第2基板之间的局部并且作为光反射膜或光吸收膜发挥功能的薄膜。
3.一种光栅部件，其特征在于，
该光栅部件具备：
在表面具备光学光栅的透明的第1基板；
在表面具备光学光栅的透明的第2基板；以及
配置于所述第1基板与所述第2基板之间的间隔件；
所述第1基板和所述第2基板接合于所述间隔件。
4.根据权利要求3所述的光栅部件，其特征在于，
所述间隔件在所述第1基板与所述第2基板之间形成空腔。
5.根据权利要求4所述的光栅部件，其特征在于，
在所述空腔内具备作为光反射膜或光吸收膜发挥功能的薄膜。
6.根据权利要求4或5所述的光栅部件，其特征在于，
所述第1基板在所述空腔内具备所述光学光栅，
所述第2基板在所述空腔内具备所述光学光栅。
7.根据权利要求3所述的光栅部件，其特征在于，
所述第1基板在一个主面具备设有所述光学光栅的凹部，
所述第2基板在一个主面具备设有所述光学光栅的凹部，
所述第1基板的所述一个主面和所述第2基板的所述一个主面接合于所述间隔件，
所述第1基板的所述光学光栅和所述第2基板的所述光学光栅被所述间隔件覆盖。
8.根据权利要求3所述的光栅部件，其特征在于，
所述间隔件在第1主面具备第1凹部，在与所述第1主面相对的第2主面具备第2凹部，
所述第1基板的设有所述光学光栅的主面与所述第2基板的设有所述光学光栅的主面彼此相对，
利用所述第1凹部配置所述第1基板的所述光学光栅，
利用所述第2凹部配置所述第2基板的所述光学光栅。
9.一种光栅部件的制造方法，其特征在于，该制造方法包括：
使在第1主面具备光学光栅的透明的第1基板与在第1主面具备光学光栅的透明的第2基板以所述第1基板的与该第1基板的所述第1主面相对的第2主面和所述第2基板的与该第2基板的所述第1主面相对的第2主面彼此相对的方式彼此接触的工序；以及
利用常温接合、扩散接合或阳极接合使所述第1基板的所述第2主面与所述第2基板的所述第2主面彼此接合的工序。
10.一种光栅部件的制造方法，其特征在于，
在表面具备光学光栅的透明的第1基板与在表面具备光学光栅的透明的第2基板之间配置间隔件的工序；以及
利用常温接合、扩散接合或阳极接合使所述第1基板和所述第2基板接合于所述间隔件的工序。
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