[发明专利]杂散光测试系统测试腔用玻璃有效
申请号: | 202010600239.8 | 申请日: | 2020-06-28 |
公开(公告)号: | CN111795928B | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 陈钦芳;薛要克;马占鹏;沈阳;林上民;刘阳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 王杨洋 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 散光 测试 系统 玻璃 | ||
本发明涉及一种玻璃,具体涉及一种杂散光测试系统测试腔用低散射高吸收玻璃。本发明的目的是解决现有杂散光测试系统测试腔用玻璃存在占用空间大、不耐磨、容易吸附灰尘和散射特性低的技术问题,提供一种杂散光测试系统测试腔用玻璃。该玻璃包括作为基底的黑色浮法玻璃和作为表面的电子玻璃;所述电子玻璃与黑色浮法玻璃形状相同且平行设置,二者外边缘采用胶密封,二者间距不超过0.1mm,二者之间的区域填充作为过渡层的折射率匹配液,折射率匹配液的折射率介于两侧玻璃的折射率之间或与之相等,所述折射率匹配液与两侧玻璃折射率的差值不超过10‑2量级。
技术领域
本发明涉及一种玻璃,具体涉及一种杂散光测试系统测试腔用低散射高吸收玻璃。
背景技术
在高精度的杂散光测试中,实验室内背景引入的杂散光影响不可忽视。目前,国内、外高精度杂散光测试系统皆采用测试腔形式,将待测光机系统(即光学机械系统)设置于测试腔内,采用测试腔的优点为:1)洁净度高、可抑制空气散射;2)散射度低,吸收度高,可直接抑制实验室内来自墙壁的散射光,现有的杂散光测试系统测试腔材质多采用黑色亚克力板,亚克力板属于有机玻璃,其表面光滑,高质量的压克力板表面粗糙度可优于(低于)4nm。光滑镜面半球积分散射系数TIS(Total Integrate Scatter)与粗糙度的平方成正比,亚克力板在可见光范围内的光滑表面半球积分散射系数为10-4量级。采用测试腔的缺点为:1)占用空间大,根据点源辐射公式可知,待测光机系统表面散射光对测试腔内壁的照度与二者(即待测光机系统与测试腔内壁)的距离平方成反比,因此增大测试腔的尺寸,可以减少返回待测光机系统入口的测试腔内壁散射光;2)亚克力板表面硬度低,不耐磨,容易出划痕,而且容易产生静电进而吸附灰尘,由于其本身热膨胀系数较高,为10-5~10-4量级,热膨胀时体积会增大,对其进行拼接时需要预留缝隙,无论是其表面的划痕、灰尘还是板间的缝隙都会产生散射光。虽然现在已有通过在亚克力板表面镀硬化膜的方式对亚克力板表面耐磨性和防静电性进行改进,但是现有常规工艺制作出来的亚克力板产品表面散射特性会降低(即光滑表面半球积分散射系数增大),这种亚克力板的散射主要来自于表面硬化处理层与亚克力板基底界面的散射、以及表面硬化处理层本身引入的体散射。
发明内容
本发明的目的是解决现有杂散光测试系统测试腔用玻璃存在占用空间大、不耐磨、容易吸附灰尘和散射特性低的技术问题,提供一种杂散光测试系统测试腔用玻璃。
为解决上述技术问题,本发明提供的技术解决方案如下:
一种杂散光测试系统测试腔用玻璃,其特殊之处在于:包括作为基底的黑色浮法玻璃和作为表面的电子玻璃;
所述电子玻璃与黑色浮法玻璃形状相同且平行设置;
所述电子玻璃与黑色浮法玻璃的外边缘采用胶密封;
所述电子玻璃与黑色浮法玻璃间距不超过0.1mm,二者之间的区域填充作为过渡层的折射率匹配液;
所述电子玻璃与黑色浮法玻璃的折射率相当,所述折射率匹配液的折射率介于电子玻璃与黑色浮法玻璃的折射率之间或与之相等,所述折射率匹配液与电子玻璃折射率的差值、折射率匹配液与黑色浮法玻璃折射率的差值均不超过10-2量级。
进一步地,为了获得较大的吸收率,所述黑色浮法玻璃的吸收率大于94%,且在400nm~2500nm波段的透过率低于10-4量级。
进一步地,为了获得较小的散射率,所述电子玻璃的厚度为0.1~2mm、表面粗糙度低于2nm,且在400nm~2500nm波段的透过率为91%~92%。
进一步地,为获得大尺寸、超光滑、粗糙度分布均匀的电子玻璃,所述电子玻璃采用溢流下拉成型工艺制成。
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