[发明专利]图案描绘装置

权利要求书

1.一种图案描绘装置，一边沿着副扫描方向搬送被照射体、一边使来自光源装置的光束呈点状地聚光于上述被照射体上，使聚光后的光点沿着扫描线进行主扫描，上述扫描线沿着与上述副扫描方向正交的主扫描方向，藉此在上述被照射体上描绘既定图案，其具备：

旋转多面镜，绕既定的旋转轴旋转；

第1导光光学系统，从第1方向朝上述旋转多面镜投射来自上述光源装置的第1光束；

第2导光光学系统，从与上述第1方向不同的第2方向朝上述旋转多面镜投射来自上述光源装置的第2光束；

第1投射光学系统，使由上述旋转多面镜反射的上述第1光束聚光并作为第1光点而远心地投射至第1扫描线上；

第2投射光学系统，使由上述旋转多面镜反射的上述第2光束聚光并作为第2光点而远心地投射至第2扫描线上；以及

描绘单元，该描绘单元以于上述被照射体上沿着上述主扫描方向及上述副扫描方向中的至少一个方向平行地错开配置上述第1扫描线与上述第2扫描线的方式，一体地保持上述旋转多面镜、上述第1导光光学系统、上述第2导光光学系统、上述第1投射光学系统及上述第2投射光学系统且可绕设定为与上述被照射体的面垂直的旋动中心轴旋动；

将上述旋动中心轴设定在上述第1扫描线的中点与上述第2扫描线的中点之间。

2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其中，

上述旋动中心轴，设定为通过连接上述第1扫描线的中点与上述第2扫描线的中点的线段的中心点。

3.如权利要求2所述的图案描绘装置，其中，

上述第1扫描线与上述第2扫描线配置为，在上述副扫描方向上彼此分隔，且在上述主扫描方向上彼此邻接或一部分重叠。

4.如权利要求1所述的图案描绘装置，其中，

上述第1投射光学系统与上述第2投射光学系统各自包含利用上述旋转多面镜而偏向的上述第1及第2光束的上述主扫描方向的偏向角度、与上述主扫描方向上的上述第1及第2光束在上述被照射体上的投射位置成为比例关系的远心f-θ透镜系统。

5.如权利要求4所述的图案描绘装置，其中，

上述第1投射光学系统与上述第2投射光学系统各自包含配置于上述f-θ透镜系统与上述旋转多面镜之间的反射构件；

该反射构件，在通过上述旋转多面镜而将上述第1及第2光束偏向的面内，使上述光束弯折。

6.如权利要求5所述的图案描绘装置，其中，

上述第1光束由上述旋转多面镜的第1反射面反射，上述第2光束由上述旋转多面镜的与上述第1反射面不同的第2反射面反射。

7.如权利要求5所述的图案描绘装置，其中，

上述第1光束由上述旋转多面镜的第1反射面反射，上述第2光束由相对于上述第1反射面绕上述旋转多面镜的上述旋转轴旋转90度或180度的第2反射面反射。

8.如权利要求5至7中任一权利要求所述的图案描绘装置，其进一步具备强度调整构件；

该强度调整构件对上述主扫描方向上的上述第1光束的强度变化、及上述主扫描方向上的上述第2光束的强度变化进行调整，上述主扫描方向上的上述第1光束的强度变化通过上述第1光束往上述第1投射光学系统中所含的上述反射构件射入的入射角的变化而产生，上述主扫描方向上的上述第2光束的强度变化通过上述第2光束往上述第2投射光学系统中所含的上述反射构件射入的入射角的变化而产生。