[发明专利]晶棒定角粘接机的定位机构

权利要求书

1.晶棒定角粘接机的定位机构，包括用于水平定位料板(10)的夹具(41)和竖直设置在夹具(41)上方并能够相对夹具(41)转动的矫正基准立板(5)，其特征在于，所述矫正基准立板(5)上连接有能够沿垂直于矫正基准立板(5)板面方向滑动的定位架(6)，所述定位架(6)上连接有能够吸附住晶棒的柔性吸盘(7)，且当柔性吸盘(7)吸附住晶棒时定位架(6)能够缩回并使晶棒压靠在矫正基准立板(5)上，所述矫正基准立板(5)上还设有压块(92)，当柔性吸盘(7)吸附在晶棒上且晶棒压靠在矫正基准立板(5)上时压块(92)能够下降并将晶棒压紧在料板(10)上。

2.根据权利要求1所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述定位架(6)包括长条状的移动板(61)，所述移动板(61)滑动设置在矫正基准立板(5)的后侧，在移动板(61)的前侧设有若干上述的柔性吸盘(7)，且柔性吸盘(7)均凸出矫正基准立板(5)的前板面。

3.根据权利要求2所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述矫正基准立板(5)的后侧固定有水平气缸(66)，所述水平气缸(66)朝后设置，且水平气缸(66)的活塞杆通过连接板(65)与移动板(61)相固连，所述矫正基准立板(5)的后侧还固定有能够对移动板(61)的最大移动行程进行调节的限位座(8)。

4.根据权利要求3所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述连接板(65)上固定有后限位块(651)，所述限位座(8)上螺接有后限位柱(811)，该后限位柱(811)朝前设置并与后限位块(651)的后侧面相对，当所述定位架(6)向后缩回时后限位块(651)能够与后限位柱(811)相抵靠。

5.根据权利要求4所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述水平气缸(66)或者矫正基准立板(5)上固定有前限位块(661)，所述后限位块(651)或者连接板(65)上螺接有前限位柱(652)，该前限位柱(652)朝前设置并与前限位块(661)后侧面相对，当所述定位架(6)向前伸出设定距离时前限位柱(652)能够与前限位块(661)相抵靠。

6.根据权利要求2～5中任意一项所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述定位架(6)还包括长条状的缓冲板(62)，所述缓冲板(62)位于移动板(61)的前侧并滑动连接在移动板(61)上，且缓冲板(62)的滑动方向与移动板(61)的滑动方向一致，上述柔性吸盘(7)设置在缓冲板(62)两端前侧面上，所述缓冲板(62)与移动板(61)之间还设有当缓冲板(62)相对移动板(61)向后移动时进行缓冲的缓冲弹簧(622)。

7.根据权利要求6所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述移动板(61)的两端均固定有导向套(612)，所述缓冲板(62)后侧面的两端均垂直固定有导向柱(621)，两所述导向柱(621)分别滑动穿设在两导向套(612)内，所述导向柱(621)的端部还固定有限位片(623)，所述缓冲弹簧(622)套设在导向柱(621)上并作用在缓冲板(62)后侧面上，在缓冲弹簧(622)的作用下限位片(623)抵靠在导向套(612)后端面上。

8.根据权利要求1～5中任意一项所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述矫正基准立板(5)的前板面上具有若干向前凸出的基准凸部(51)，若干所述基准凸部(51)的前端面为基准面，该若干基准面共面并竖直设置，当柔性吸盘(7)吸附住晶棒且定位架(6)缩回时能够使晶棒压靠在若干基准面上。

9.根据权利要求1～5中任意一项所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述矫正基准立板(5)上还固定有朝下设置的竖向气缸(9)，所述竖向气缸(9)与压块(92)相连接，所述压块(92)下侧面的两端均固定有朝下设置的压盘(93)。

10.根据权利要求1～5中任意一项所述的晶棒定角粘接机的定位机构，其特征在于，所述柔性吸盘(7)呈喇叭状并采用橡胶材料制成，所述柔性吸盘(7)的中心位置开设有与真空发生装置相连通的吸气孔(71)。