[发明专利]Ag-Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂及其制备方法有效
| 申请号： | 202010603616.3 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111804308B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 孙浩亮;吕源江;张灏戈;史鹏;王广欣;刘元昊;孙纪航;魏明 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | B01J23/89 | 分类号： | B01J23/89;B01J35/02;B01J35/10;B01J37/34;B82Y40/00;C23C14/20;C23C14/35;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 洛阳九创知识产权代理事务所(普通合伙) 41156 | 代理人： | 狄干强 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ag co 薄膜 纳米 颗粒 催化剂 及其 制备 方法 | ||
1.Ag-Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂，其主体为Mo-Ag合金膜，其特征在于：通过在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo-Ag合金膜时形成蠕虫状Ag颗粒，之后在蠕虫状Ag颗粒表面溅射沉积一层Ag-Co合金膜；所述Mo-Ag合金膜的厚度为80-200nm，其中Ag的含量为22-29at%；所述Mo-Ag合金膜是以聚酰亚胺为基体，并使其保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态后，溅射沉积获得。
2.根据权利要求1所述的Ag-Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂，其特征在于：所述蠕虫状Ag 颗粒的尺寸为 50-180nm。
3.根据权利要求1所述的Ag-Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂，其特征在于：所述Ag-Co合金膜的厚度为15-26nm。
4.根据权利要求1所述的Ag-Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂的制备方法，通过在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo-Ag合金膜时形成蠕虫状Ag颗粒，之后在形成蠕虫状Ag颗粒的表面溅射沉积Ag-Co合金膜即可得到，其特征在于：在溅射沉积Mo-Ag合金膜时，使聚酰亚胺基体保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态进行溅射，且保证所溅射形成的Mo-Ag合金膜的厚度为80-200nm，Ag的含量为22-29at%。
5.根据权利要求4所述的Ag-Co薄膜/纳米颗粒/薄膜催化剂的制备方法，其特征在于：所述溅射沉积Ag-Co合金膜时，采用由Ag靶与其表面覆盖的Co片构成复合靶材，施以射频溅射工艺，功率为100w，沉积时间为1-2min。
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