[发明专利]一种柔性表面增强拉曼效应基底材料及其制备方法有效
| 申请号： | 202010603656.8 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111812076B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 孙浩亮;连鑫鑫;吕源江;张灏戈;史鹏;王广欣;代继伟;吴羿霖 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;C23C14/35;C23C14/20 |
| 代理公司： | 洛阳九创知识产权代理事务所(普通合伙) 41156 | 代理人： | 狄干强 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 表面 增强 效应 基底 材料 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种柔性表面增强拉曼效应基底材料，其主体为Mo-Ag合金膜，其特征在于：所述Mo-Ag合金膜是以聚酰亚胺为基体，并使其保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态后，溅射沉积获得，且所述Mo-Ag合金膜的厚度为80-220nm，其中Ag的含量为22-29at%；在所述Mo-Ag合金膜的一个表面分布有蠕虫状Ag颗粒。
2.根据权利要求1所述的一种柔性表面增强拉曼效应基底材料，其特征在于：所述蠕虫状Ag颗粒的尺寸为50-180nm。
3.根据权利要求1所述的柔性表面增强拉曼效应基底材料的制备方法，通过在聚酰亚胺基体上溅射沉积Mo-Ag合金膜时形成，其特征在于：在溅射沉积Mo-Ag合金膜时，使聚酰亚胺基体保持与基片台呈5-10°夹角的悬垂状态进行溅射，且保证所溅射形成的Mo-Ag合金膜的厚度为80-220nm，Ag的含量为22-29at%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南科技大学，未经河南科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010603656.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
