[发明专利]一种高效镀超硬膜的方法

权利要求书

1.一种高效镀超硬膜的方法，其特征在于该方法采用连续式磁控溅射镀膜装置，设备主要包括进料仓、过渡仓、镀膜仓和出料仓，仓与仓之间通过轨道相连，进行载台的传送，实现一站式镀膜；工艺路线为：将玻璃基体在超声波中清洗后烘干，按顺序排布在载台上；抽真空并加热；载台在机械传动的作用下，依次通过进料仓、过渡仓，进入镀膜仓；根据所镀膜层材质与厚度要求，调节电流、电压值与镀膜时间，开始镀膜；镀膜完成后，传动系统将载台经过渡仓送进出料仓，完成镀膜过程；具体工艺路线包括：

（1）将玻璃基体进行超声波清洗后烘干，将其顺序的排布在载台上；

（2）抽真空并加热，过渡仓与镀膜仓需要加热至60~100℃；过渡仓腔体内真空度达到10^-2Pa以上，镀膜仓腔体内真空镀达到10^-3Pa以上，过渡层厚度：0.1-0.3 um，DLC膜层厚度：0.2-0.5 um；

（3）开启传动装置，载台在机械传动的作用下，依次通过进料仓、过渡仓，进入镀膜仓；

（4）根据所镀膜层材质与厚度要求，调节电流、电压值与镀膜时间，开始镀膜；电压：0V-2300 V；电流：≤0.5 A；镀膜时间：0.5-2 h；镀膜参数操作范围：真空为0.5-8×10^-4 Pa，气体流量为20-200 sccm；

（5）镀膜完成后，传动系统将载台经过渡仓，送进出料仓，完成镀膜过程。

2.根据权利要求1所述的一种高效镀超硬膜的方法，其特征在于所述的镀膜仓前以增加等离子前处理过程。

3.根据权利要求2所述的一种高效镀超硬膜的方法，其特征在于所述的溅射功率1~5KW。

4.根据权利要求3所述的一种高效镀超硬膜的方法，其特征在于所述的传送速度根据每层镀膜厚度所需最长时间调节，行进速度为1~5mm/min。