[发明专利]纳秒激光辐照诱导非晶碳表面形成微纳米多层结构的方法

权利要求书

1.一种纳秒激光辐照诱导非晶碳表面形成微纳米多层结构的方法，其特征在于：通过控制纳秒激光脉冲的辐照时间和能量密度，在空气中对非晶碳表面进行点辐照，利用激光的材料去除作用与光的干涉作用在非晶碳表面制备微纳米多层结构，包括以下步骤：

步骤一、将抛光后的非晶碳样品使用无水乙醇进行超声清洗、干燥，得到预处理的非晶碳样品；

步骤二、将纳秒光纤激光器产生的激光由振镜系统进行光路转换与聚焦，之后垂直入射在步骤一所得的非晶碳样品表面；通过控制纳秒激光脉冲的辐照时间和能量密度，利用激光的材料去除作用与光的干涉作用在非晶碳表面制备微纳米多层结构；

步骤二中所述的激光为线偏振光，激光频率为500-800kHz，激光波长为1064nm，脉冲宽度为7-30ns；

步骤二中所述的激光脉冲的持续时间为0.8-2ms，激光能量密度为0.21-0.27J/cm²；

步骤二中所述的激光的最大单脉冲能量为0.05J，激光斑点直径为42µm；

所述的微纳米多层结构包括微米级类酒窝状结构和纳米级同心环状结构；

当进行非晶碳表面多点阵列微纳米多层结构制备时，相邻两激光辐照点的间距为10-30µm。

2.根据权利要求1所述的纳秒激光辐照诱导非晶碳表面形成微纳米多层结构的方法，其特征在于：步骤一中所述的超声清洗的清洗温度为50-60℃，清洗时间为4-6min，并在空气中自然干燥。