[发明专利]一种正入射式透射光相位信息表征光路系统及方法

权利要求书

1.一种正入射式透射光相位信息表征光路系统，其特征在于，包括：

光源发射器，用于发射光源；

起偏器(2)，用于将所述光源发射器发射的光源形成偏振光；

第一偏振分束器(3)，用于将所述偏振光分成两束光路：光路a与光路b；

第一反射镜(4)，设于所述光路a中；

第一样品台(5)，用于放置被测样品或标准样件；

第二反射镜(6)，设于所述光路b中；

第二样品台(7)，用于放置标准样件或被测样品；

第二偏振分束器(8)，用于汇合所述被测样品及标准样件的透射光；及

透射光检测单元，使携带样品信息的测试光和参考光发生相干干涉，通过探测光谱强度计算相位信息；

所述光路a的光经过所述第一反射镜(4)后经过所述第一样品台(5)上的被测样品或标准样件进入第二偏振分束器(8)，所述光路b的光经过所述第二反射镜(6)后经过所述第二样品台(7)上的标准样件或被测样品进入第二偏振分束器(8)，汇合后的两束光同时出射经过所述透射光检测单元。

2.根据权利要求1所述的一种正入射式透射光相位信息表征光路系统，其特征在于，所述透射光检测单元包括依次设置的1/4波片(9)、检偏器(10)、衰减器(11)和探测器(12)，

汇合后的两束光同时出射经过所述透射光检测单元，依次经过所述1/4波片(9)及检偏器(10)，所述1/4波片(9)与检偏器(10)对光进行调制，之后再经过所述衰减器(11)，进入所述探测器(12)。

3.根据权利要求1所述的一种正入射式透射光相位信息表征光路系统，其特征在于，所述的第一偏振分束器(3)及第二偏振分束器(8)的分光比为1：1。

4.根据权利要求1所述的一种正入射式透射光相位信息表征光路系统，其特征在于，所述光路a与光路b相互垂直。

5.根据权利要求1所述的一种正入射式透射光相位信息表征光路系统，其特征在于，所述光源发射器为激光器(1)。

6.一种正入射式透射光相位信息表征方法，其特征在于，采用如权利要求1-5任一项所述的光路系统进行测试，具体包括以下步骤：

步骤1：背景测试，第一样品台(5)与第二样品台(7)同时放入标准样件，改变透射光检测单元中检偏器(10)的方位角，并测试对应的光强；

步骤2：被测样品偏振透射光测试，在第一样品台(5)上放置被测样品，第二样品台(7)仍放置标准样件，改变透射光检测单元中检偏器(10)的方位角，并测试对应的光强；

步骤3：计算被测样品的透射引起的光谱变化，其具体为步骤2测得的光强与步骤1测得光强的差值；

步骤4：计算被测样品透射引起的相位变化；

步骤5：将步骤2中的第一样品台(5)上放标准样件，第二样品台(7)上放被测样品，重复步骤2-步骤4，测量样品另一个偏振透射光的光谱强度与相位信息。

7.根据权利要求6所述的一种正入射式透射光相位信息表征方法，其特征在于，步骤1中所述检偏器(9)方位角分别为0度、45度、90度、135度时，测试对应的光强：I₀₀、I₀₁、I₀₂、I₀₃。

8.根据权利要求7所述的一种正入射式透射光相位信息表征方法，其特征在于，步骤2中所述检偏器(9)方位角分别为0度、45度、90度、135度时测试对应的光强：I₁₀、I₁₁、I₁₂、I₁₃。