[发明专利]显示装置

权利要求书

1.一种显示装置，包括：

衬底；

多个晶体管，所述多个晶体管布置在所述衬底上；以及

多层绝缘膜，所述多层绝缘膜布置在所述晶体管上，

其中，所述多层绝缘膜包括第一绝缘膜和第二绝缘膜，

所述多层绝缘膜包括：

第一区，所述第一区中所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜在与所述衬底垂直的方向上彼此重叠；以及

第二区，所述第二区中布置有所述第一绝缘膜，

所述第一区与所述多个晶体管重叠，并且

所述第二绝缘膜的模量低于所述第一绝缘膜的模量。

2.如权利要求1所述的显示装置，其中，

所述第二绝缘膜设置为多个，且与所述晶体管重叠并且彼此被间隔开，并且

所述第一绝缘膜布置在所述第二绝缘膜之间并且位于所述第二绝缘膜的上表面上。

3.如权利要求1所述的显示装置，其中，

所述第二区在与所述衬底垂直的所述方向上不与所述晶体管重叠。

4.如权利要求1所述的显示装置，其中，

所述第一绝缘膜的所述模量为所述第二绝缘膜的所述模量的5至30倍。

5.如权利要求1所述的显示装置，其中，

所述第一绝缘膜的所述模量为80GPa至150GPa。

6.如权利要求1所述的显示装置，其中，

所述第二绝缘膜的所述模量为5GPa至10GPa。

7.如权利要求1所述的显示装置，其中，

所述第一绝缘膜包括无机材料，并且所述第二绝缘膜包括有机材料。

8.一种显示装置，包括：

衬底；

多个晶体管，所述多个晶体管布置在所述衬底上；

层间绝缘膜，所述层间绝缘膜布置在所述晶体管上；以及

多层绝缘膜，所述多层绝缘膜布置在所述层间绝缘膜上，

其中，所述多层绝缘膜包括第一绝缘膜和第二绝缘膜，

所述多层绝缘膜包括与所述晶体管重叠的第一区和不与所述晶体管重叠的第二区，

所述第二绝缘膜在所述第一区中与所述层间绝缘膜接触，

所述第一绝缘膜在所述第二区中与所述层间绝缘膜接触，并且

所述第一绝缘膜的模量大于所述第二绝缘膜的模量。

9.如权利要求8所述的显示装置，其中，

所述第一绝缘膜的所述模量为所述第二绝缘膜的所述模量的5至30倍。

10.如权利要求8所述的显示装置，其中，

所述第一绝缘膜的所述模量为80GPa至150GPa，并且所述第二绝缘膜的所述模量为5GPa至10GPa。