[发明专利]一种柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺及装置

权利要求书

1.一种柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将涂布有聚酰亚胺浆料的玻璃基板进行真空干燥；

S2、将真空干燥后的玻璃基板立即送入绝氧环境并进行升温，升至低温后保温，进行低温干燥；

S3、在绝氧环境下，将低温干燥后的玻璃基板继续升温，升至中温后保温，进行中温亚胺化；

S4、在绝氧环境下，将中温亚胺化后的玻璃基板继续升温，升至高温后保温，进行高温亚胺化；

S5、在绝氧环境下，将高温亚胺化后的玻璃基板进行降温。

2.根据权利要求1所述的柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺，其特征在于，在S1中，真空干燥温度控制在-5℃-100℃，真空干燥压力控制在10Pa-10000Pa，真空干燥时间控制在5-120min；优选的，真空干燥温度控制在20℃-30℃，真空干燥压力控制在10Pa-100Pa，真空干燥时间控制在10-30min。

3.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺，其特征在于，在S2中，采用风热式升温，升温速度控制在1℃/min-150℃/min，低温干燥温度控制在50℃-200℃，低温干燥时间控制在5-120min；优选的，升温速度控制在50℃/min-100℃/min，低温干燥温度控制在100℃-150℃，低温干燥时间控制在5-30min。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺，其特征在于，在S3中，采用风热式升温，升温速度控制在1℃/min-150℃/min，中温亚胺化温度控制在250℃-350℃，中温亚胺化时间控制在0.05min-50min；优选的，升温速度控制在10℃/min-100℃/min，中温亚胺化温度控制在280℃-320℃，中温亚胺化时间控制在0.08min-5min。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺，其特征在于，在S4中，采用风热式升温，升温速度控制在1℃/min-150℃/min，高温亚胺化温度控制在350℃-500℃，中温亚胺化时间控制在0.05min-50min；优选的，升温速度控制在10℃/min-100℃/min，高温亚胺化温度控制在380℃-450℃，高温亚胺化时间控制在0.08min-5min。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺，其特征在于，在S5中，采用风冷式降温，在绝氧环境下降温速度控制在1℃/min-200℃/min。

7.根据权利要求6所述的柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺，其特征在于，在S5中，在绝氧环境下降温速度控制在2℃/min-50℃/min；在绝氧环境下，当温度降至50℃-250℃时，将玻璃基板在空气环境下进行降温，降温速度控制在1℃/min-100℃/min。

8.根据权利要求7所述的柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产工艺，其特征在于，在S5中，在绝氧环境下，当温度降至100℃-200℃时，将玻璃基板在空气环境下进行降温，降温速度控制在5℃/min-50℃/min。

9.一种柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产装置，其特征在于，包括箱体、进料传送机构、出料传送机构和惰性气体供应机构，箱体内安装有处理传送机构，箱体内沿处理传送机构传送方向依次设置有真空干燥段、升温换气段、低温干燥段、中温过渡段、中温亚胺化段、高温过渡段、高温亚胺化段、降温段、降温换气段，真空干燥段与升温换气段之间设有第一风帘，降温换气段与降温段之间设有第二风帘；进料传送机构与处理传送机构的进料端对接；出料传送机构与处理传送机构的出料端对接；惰性气体供应机构用于为升温换气段、低温干燥段、中温过渡段、中温亚胺化段、高温过渡段、高温亚胺化段、降温段提供惰性气体。

10.根据权利要求9所述的柔性显示用玻璃基板聚酰亚胺薄膜生产装置，其特征在于，处理传送机构包括第一传送机构、第二传送机构、第三传送机构、第四传送机构、第五传送机构、第六传送机构、第七传送机构、第八传送机构、第九传送机构；第一传送机构安装在真空干燥段内并与进料传送机构对接，第二传送机构安装在升温换气段内并与第一传送机构对接，第三传送机构安装在低温干燥段内并与第二传送机构对接，第四传送机构安装在中温过渡段内并与第三传送机构对接，第五传送机构安装在中温亚胺化段内并与第四传送机构对接，第六传送机构安装在高温过渡段内并与第五传送机构对接，第七传送机构安装在高温亚胺化段内并与第六传送机构对接，第八传送机构安装在降温段内并与第七传送机构对接，第九传送机构安装在降温换气段内并与第八传送机构对接。