[发明专利]一种测量微尺度金属样品电阻率的装置和方法在审
| 申请号： | 202010610197.6 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111856138A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 傅思伟;叶芳;李田;齐文艳;张迅达;陈韶瑜;周连升;管森森;甘智勇;于金山;文黎;温力;李庆钊 | 申请（专利权）人： | 国网天津市电力公司电力科学研究院;国网天津市电力公司;国家电网有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R3/00 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 王来佳 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 尺度 金属 样品 电阻率 装置 方法 | ||
1.一种测量微尺度金属样品电阻率的装置，其特征在于：包括基板，在基板的上制有图形化的测试电极，待测样品置于基板上与测试电极连接，测试电极连接电阻测量电路。
2.根据权利要求1所述的测量微尺度金属样品电阻率的装置，其特征在于：所述的图形化的测试电极采用光刻法或金属物理掩膜版与物理气相沉积相结合的方法或喷墨打印方法制成。
3.根据权利要求1所述的测量微尺度金属样品电阻率的装置，其特征在于：本装置还包括一用于改变样品温度的加热器，所述加热器置于基板下方，加热器由温控仪控制温度。
4.根据权利要求1或3所述的测量微尺度金属样品电阻率的装置，其特征在于：本装置还包括一用于避免样品氧化的真空腔室，所述基板置于真空腔室内。
5.根据权利要求1或2所述的测量微尺度金属样品电阻率的装置，其特征在于：所述基板上制有测温电阻，测温电极连接温度显示器。
6.根据权利要求1或3所述的测量微尺度金属样品电阻率的装置，其特征在于：在基板的上方安装一盖板。
7.一种基于四线法测量微尺度金属样品电阻率的方法，其特征在于：首先在基板上制作测试电极，将样品置于基板之上，与测试电极连接，测试电极连接四线法电阻测量电路，持续测量样品电阻率。
8.一种基于四线法测量微尺度金属样品电阻率的方法，其特征在于：首先在基板上制作测试电极及测温电极，将样品置于基板之上，与测试电极连接，测试电极连接四线法电阻测量电路；将基板置于加热台上，基板及加热台均放入一真空腔室，通过调整温度，绘制电阻率随温度的变化关系曲线。
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