[发明专利]一种多管CVD系统

权利要求书

1.一种多管CVD系统，其特征在于，包括固定框架(1)、加热炉膛(7)和封闭式管式炉体(9)，所述加热炉膛(7)位于固定框架(1)的上端，所述封闭式管式炉体(9)位于固定框架(1)的内部，所述固定框架(1)的一侧安装有若干个进气座(2)，所述固定框架(1)的另一侧安装有若干个抽气座(3)，所述固定框架(1)的外表面靠近中间的位置安装有触控屏(101)，所述固定框架(1)的内部靠近下方的位置设置有驱动座(10)。

2.根据权利要求1所述的一种多管CVD系统，其特征在于，所述加热炉膛(7)的后端靠近上方的位置安装有两组第一截止阀(5)和炉膛石英管(6)，两组所述第一截止阀(5)位于两组炉膛石英管(6)之间的位置。

3.根据权利要求1所述的一种多管CVD系统，其特征在于，所述加热炉膛(7)的上端安装有开启式管式炉盖(8)，所述开启式管式炉盖(8)与加热炉膛(7)之间连接有转柱，所述开启式管式炉盖(8)通过转柱与加热炉膛(7)转动连接，所述加热炉膛(7)的内部设置有开启式管式炉体，所述加热炉膛(7)的一侧安装有温度仪表。

4.根据权利要求1所述的一种多管CVD系统，其特征在于，若干个所述进气座(2)远离固定框架(1)的一侧设置有进气口，若干个所述抽气座(3)远离固定框架(1)的一侧设置有抽气口，所述进气座(2)和抽气座(3)均与封闭式管式炉体(9)管道连接。

5.根据权利要求3所述的一种多管CVD系统，其特征在于，所述开启式管式炉盖(8)的数量为两组，两组所述开启式管式炉盖(8)在固定框架(1)的上端呈对称排列分布，所述封闭式管式炉体(9)的数量为六组，且两组所述封闭式管式炉体(9)排成一行，两组所述封闭式管式炉体(9)呈对称排列分布。

6.根据权利要求1所述的一种多管CVD系统，其特征在于，所述驱动座(10)的内部安装有机械真空泵，所述固定框架(1)的内部安装有导流管道(4)，所述进气座(2)的内部安装有第二截止阀，所述抽气座(3)的内部安装有第三截止阀。

7.根据权利要求6所述的一种多管CVD系统，其特征在于，若干个所述封闭式管式炉体(9)的两侧均安装有法兰，若干个所述封闭式管式炉体(9)和开启式管式炉体均通过导流管道(4)连接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种多管CVD系统，其特征在于，该多管CVD系统的工作步骤包括：

步骤一：当两组开启式管式炉体与六组封闭式管式炉体(9)同时工作进行对比试验时，通过将若干个第二截止阀和第三截止阀关闭，将六组封闭式管式炉体(9)与外界调整为隔离状态，通过将两组第一截止阀(5)开启，将两组开启式管式炉体与六组封闭式管式炉体(9)之间通过导流管道(4)调整为通道状态，通过触控屏(101)启动机械真空泵工作；

步骤二：通过机械真空泵和导流管道(4)将六组封闭式管式炉体(9)和两组开启式管式炉体进行真空抽气操作，通过加热炉膛(7)进行加热操作，通过温度仪表将加热炉膛(7)加热至不同的温度，通过若干个进气座(2)往六组封闭式管式炉体(9)和两组开启式管式炉体内通入保护气体进行对比试验；

步骤三：当两组开启式管式炉体与六组封闭式管式炉体(9)单独工作时，通过两组第一截止阀(5)的关闭，将两组开启式管式炉体与六组封闭式管式炉体(9)调整为隔离状态，单独进行试验。