[发明专利]一种集成散热器的功率模块及其制作方法在审
申请号: | 202010617478.4 | 申请日: | 2020-07-01 |
公开(公告)号: | CN111696936A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 邱珍华;邱嘉龙;刘亚坤 | 申请(专利权)人: | 浙江天毅半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/373 | 分类号: | H01L23/373;H01L23/367;H01L21/48;H01L21/52 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 312000 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成 散热器 功率 模块 及其 制作方法 | ||
1.一种集成散热器的功率模块包括:芯片(1),用于布置芯片(1)的DBC板(4)(覆铜陶瓷基板),上表面设有铜区(80)的散热器(8),以及将芯片(1)、DBC板(4)封装到散热器(8)的封装外壳(5);所述DBC板(4)(覆铜陶瓷基板)通过焊接或烧结等方式与散热器(8)上表面的铜区(80)形成紧密的金属连接,从而整体形成一个集成散热器的功率模块。
2.根据权利要求1所述的功率模块,其特征在于:所述上表面设有铜区(80)的散热器(8)可通过多种工艺制成,具体可为喷铜,嵌铜、镀铜,从而实现在铝制散热器(8)上形成有一定厚度的铜区(80)。
3.根据权利要求1所述的一种集成散热器的功率模块,其特征在于:所述上表面设有铜区(80)的散热器(8),铜区(80)面积比与之连接DBC板(4)的背面覆铜层(42)的面积大,从而实现较大的接触面积。
4.根据权利要求1所述的一种集成散热器的功率模块,其特征在于:所述芯片(1)通过焊接或烧结方式连接在所述正面覆铜层(40)上,并通过引线(2)实现所述芯片(1)与所述正面覆铜(40)的互连。
5.根据权利要求1所述的一种集成散热器的功率模块,其特征在于:所述端子(6)一端连接至所述正面覆铜层(40)上,另一端引出至封装外壳(5)的外部,以提供与外部电路的接口,所述封装外壳(5)固定于所述散热器(8)的上表面。
6.根据权利要求1所述的一种集成散热器的功率模块,其特征在于:所述封装外壳(5)的内部填充有绝缘灌封胶,以实现所述功率模块内部的电气绝缘,并保护所述功率模块(100)免受湿气和污染侵蚀。
7.一种集成散热器的功率模块制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)成型一上表面设有铜区(80)的散热器8;
2)将芯片(1)及端子(6)连接在DBC板(4)的正面覆铜层(40);
3)通过引线(2)实现所述芯片(1)与正面覆铜层(40)之间的互连;
4)将所述DBC板(4)的背面覆铜层(42)连接散热器(8)上表面的铜区(80);
5)将封装外壳(5)安装在所述散热器(8)上;
6)在所述封装外壳的(5)内部填充绝缘灌封胶,以实现所述功率模块(100)内部的灌封保护。
8.根据权利要求7所述的一种集成散热器的功率模块制作方法,其特征在于:通过焊接或烧结连接方式将所述DBC板(4)的背面覆铜层(42)连接在散热(8)器的铜区(80)。
9.根据权利要求7所述的一种集成散热器的功率模块制作方法,其特征在于:通过焊接或烧结连接方式将所述芯片(1)连接在所述DBC板(4)上。
10.根据权利要求7所述的一种集成散热器的功率模块制作方法,其特征在于:通过引线(2)键合方式实现上所述芯片(1)与所述DBC板(4)的正面覆铜层(40)之间的互连。
11.根据权利要求7所述的一种集成散热器的功率模块制作方法,其特征在于:通过焊料焊接或超声焊接方式将所述端子(6)的引脚端与所述DBC板(4)的正面覆铜层(40)连接。
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