[发明专利]薄膜厚度湿度检测系统

说明书

本发明提供一种薄膜厚度湿度检测系统，该薄膜厚度湿度检测系统利用同轴电路元原件代替波导器件，解决同轴信号与谐振腔模式的转换；具体包括如下模块：采集模块、存储模块、运算模块；采集模块包括开关部、检波器、隔离器及转换匹配器；转换匹配器用于实现同轴转波导及波导转同轴的操作；还包括用于承载上述部件的机架装置。该系统具有的优点如下：1、相较于传统的测量薄膜湿度厚度的系统更加环保。2、可以同时对薄膜的湿度和厚度进行测量。3、相较于利用扫频进行测量计算得出薄膜湿度厚度而言成本更低，测量速度快。4、具有良好的测试灵敏度、稳定性、可靠性、可维护性、环境适应性及较高的抗干扰能力，可以满足工业生产的要求。

技术领域

本发明具体涉及一种薄膜厚度湿度检测系统。

背景技术

传统的对薄膜进行厚度及湿度测量主要采用放射源的方法进行，但随着国家对环保安全的重视这种方式已经不能满足人们的需求。同时目前工业生产中不具有可以同时测量薄膜湿度和厚度的装置，目前在实验室环境下可以利用扫频的原理同时测量薄膜湿度和厚度，但这种方式耗时较长，不适用于在线生产，所以急需一种薄膜厚度湿度检测系统以解决这一问题。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种薄膜厚度湿度检测系统，该薄膜厚度湿度检测系统可以很好地解决上述问题。

为达到上述要求，本发明采取的技术方案是：提供一种薄膜厚度湿度检测系统，该薄膜厚度湿度检测系统利用同轴电路元原件代替波导器件，解决同轴信号与谐振腔模式的转换；

具体包括如下模块：

采集模块、存储模块、运算模块；

所述采集模块包括开关部、检波器、隔离器及转换匹配器；

所述转换匹配器用于实现同轴转波导及波导转同轴的操作；

还包括用于承载上述部件的机架装置。

该薄膜厚度湿度检测系统具有的优点如下：

（1）相较于传统的测量薄膜湿度厚度的系统更加环保。

（2）可以同时对薄膜的湿度和厚度进行测量。

（3）相较于利用扫频进行测量计算得出薄膜湿度厚度而言成本更低。测量速度快（大于1000k），可以满足在线测量的要求。

（4）具有良好的测试灵敏度、稳定性、可靠性、可维护性、环境适应性及较高的抗干扰能力，可以满足工业生产的要求。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在这些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1示意性地示出了根据本申请一个实施例的该薄膜厚度湿度检测系统的示意图。

图2示意性地示出了根据本申请一个实施例的该薄膜厚度湿度检测系统的机架装置的结构示意图。

图3示意性地示出了根据本申请一个实施例的该薄膜厚度湿度检测系统的机架装置的剖视图。

图4示意性地示出了图3的局部放大图。

图5示意性地示出了根据本申请一个实施例的该薄膜厚度湿度检测系统的机架装置的局部结构示意图。

图6示意性地示出了图5中A处的局部放大图。

图7示意性地示出了根据本申请一个实施例的该薄膜厚度湿度检测系统的机架装置的侧视图。

具体实施方式