[发明专利]具有三层式梳状致动器和两层式铰链的MEMS设备

说明书

一种微型光学设备可包括：悬挂在一组铰链上的反射镜，该一组铰链安装到基板并被配置为使反射镜围绕轴线倾斜，其中，所述一组铰链中的铰链是具有与反射镜的质心对准的枢转点的两层结构；和与所述一组铰链中的铰链相关联的三层式梳状致动器结构，其中三层式梳状致动器结构包括转子梳状致动器、第一个定子梳状致动器和第二定子梳状致动器。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年9月4日提交的标题为“DESIGN APPROACH FOR TWO-DIMENSIONAL MEMS WITH LARGE MIRROR,WIDE TILT ANGLE,AND HIGH RESONANTFREQUENCY”的美国临时专利申请第62/895,814号的优先权，其内容通过引用以其整体并入本文。

技术领域

本公开涉及微机电系统(MEMS)设备，该微机电系统(MEMS)设备包括反射镜，该反射镜利用多层梳状致动器组和/或多层铰链来倾斜MEMS设备的反射镜，特别是涉及这样的MEMS设备，其利用三层式梳状致动器组和/或两层式铰链来倾斜MEMS设备的反射镜。

背景技术

微机电系统(MEMS)设备是一种微型机械结构，可包括用于反射光的反射镜。当MEMS设备被致动时，反射镜可能围绕轴线倾斜，这可能会导致落在反射镜上并朝一个方向反射的光束落在反射镜上，并朝不同的方向反射。

发明内容

根据一些实施方式，微机电(MEM)设备可以包括：基板；与基板相邻的第一层，与第一层相邻的第二层，和与第二层相邻的第三层；万向架，悬挂在一组铰链上，该一组铰链安装到基板并配置为将万向架围绕第一轴线倾斜，其中万向架构成第二层的一部分；与所述一组第一铰链中的第一铰链相关联的第一梳状致动器结构，其中第一梳状致动器结构包括构成第二层的一部分的转子梳状致动器和分别构成第一层的一部分和第三层的一部分的两个定子梳状致动器；反射镜，悬挂在一组第二铰链上，该一组第二铰链安装到万向架并被构造为使反射镜围绕第二轴线倾斜，其中反射镜构成第三层的一部分，其中第一轴线不同于第二轴线，其中反射镜经由所述一组第二铰链附接到万向架，以在万向架围绕第一轴线倾斜时允许反射镜围绕第一轴线倾斜；和与所述一组第二铰链中的第二铰链相关联的第二梳状致动器结构，其中第二梳状致动器结构包括构成第三层的一部分的附加转子梳状致动器结构和分别构成第一层的一部分和第二层的一部分的两个附加定子梳状致动器。

根据一些实施方式，微型机械结构可以包括：基板；万向架，悬挂在一组第一铰链上，该一组第一铰链安装到基板并且被配置为将万向架围绕第一轴线倾斜；与所述一组第一铰链中的第一铰链关联的三层式第一梳状致动器结构；反射镜，悬挂在一组第二铰链上，该一组第二铰链安装到万向架并被配置为将反射镜围绕第二轴线倾斜；和与所述一组第二铰链中的第二铰链关联的三层式第二梳状致动器结构。

根据一些实施方式，微型光学设备可包括：悬挂在一组铰链上的反射镜，该一组铰链安装到基板并被配置为使反射镜围绕轴线倾斜，其中，所述一组铰链中的铰链是具有与反射镜的质心对准的枢转点的两层结构；和与所述一组铰链中的铰链相关联的三层式梳状致动器结构，其中三层式梳状致动器结构包括转子梳状致动器、第一个定子梳状致动器和第二定子梳状致动器。

附图说明

图1是本文描述的示例实施方式的图。

图2是本文示例实施方式的示例铰链的图。

图3是本文描述的示例实施方式中的梳状致动器结构的图。

图4是本文描述的示例实施方式中的梳状致动器结构的图。DETAILEDDESCRIPTION

具体实施方式

以下示例实施方式的详细描述参考附图。不同的附图中的相同参考编号可以标识相同或类似的元件。