[发明专利]微型麦克风颗粒阻拦器及MEMS麦克风

权利要求书

1.一种微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，包括支撑器和设置在所述支撑器一侧的颗粒阻挡膜；其中，

所述支撑器在沿所述颗粒阻挡膜的厚度方向上包括至少一层支撑件和至少一层应力消除结构。

2.如权利要求1所述的微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，

所述支撑器包括设置在所述颗粒阻挡膜一侧的第一支撑件、位于所述第一支撑件远离所述颗粒阻挡膜一侧的第一应力消除结构，以及设置在所述第一应力消除结构远离所述颗粒阻挡膜一侧的第二支撑件。

3.如权利要求2所述的微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，

在所述第一支撑件、所述第一应力消除结构、所述第二支撑件上设置有与所述颗粒阻挡膜位置对应的第一中心开口；并且，

在所述第一应力消除结构的第一中心开口的四周设置有至少一个第一侧开孔；其中，所述第一侧开孔包括弧形、圆形或波浪形开孔。

4.如权利要求3所述的微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，

当所述第一侧开孔设置有至少两个时，所述第一侧开孔关于所述第一应力消除结构的第一中心开口呈对称或均匀分布。

5.如权利要求1所述的微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，

所述支撑器包括设置在所述颗粒阻挡膜一侧的第二应力消除结构，以及设置在所述第二应力消除结构远离所述颗粒阻挡膜一侧的第三支撑件。

6.如权利要求5所述的微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，

在所述第二应力消除结构和所述第三支撑件上设置有与所述颗粒阻挡膜位置对应的第二中心开口；

在所述第二应力消除结构的第二中心开口的四周设置有至少一个第二侧开孔；其中，所述第二侧开孔包括弧形、圆形或波浪形通孔。

7.如权利要求6所述的微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，

当所述第二侧开孔设置有至少两个时，所述第二侧开孔关于所述第二应力消除结构的第二中心开口呈对称或均匀分布。

8.如权利要求所述的微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，

所述支撑器包括设置在所述颗粒阻挡膜一侧的第三应力消除结构，以及设置在所述第三应力消除结构远离所述颗粒阻挡膜一侧的第四支撑件；并且，

所述第三应力消除结构为厚度小于所述第四支撑件且具有垂悬的板状结构。

9.如权利要求1所述的微型麦克风颗粒阻拦器，其特征在于，

所述应力消除结构的材质与所述支撑器的材质相同或不相同；或者，

所述应力消除结构的杨氏模量小于所述支撑器的杨氏模量。

10.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的微型麦克风颗粒阻拦器；其中，

所述微型麦克风颗粒阻拦器设置在所述MEMS麦克风的声孔处；或者，所述微型麦克风颗粒阻拦器设置在所述MEMS麦克风的芯片处。