[发明专利]一种基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器

权利要求书

1.一种基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于，包括：压电薄膜、光声材料部、第一电极、第二电极、第三电极，所述光声材料部置于所述压电薄膜内，所述光声材料部与所述压电薄膜两表面的距离不等，所述第一电极和所述第三电极分别置于所述压电薄膜的两表面，所述第一电极和所述第三电极分别与所述光声材料部相对，所述第二电极置于所述压电薄膜的侧面。

2.如权利要求1所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：所述光声材料部为长方体，所述长方体的边平行于所述压电薄膜的表面。

3.如权利要求2所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：所述光声材料部为球形。

4.如权利要求3所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：所述光声材料部为束腰形，所述束腰形的轴线与所述压电薄膜的法线平行。

5.如权利要求1-4任一项所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：所述第三电极的材料为石墨烯。

6.如权利要求5所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：所述光声材料部的材料为碳粉、石墨烯和聚合物的混合物。

7.如权利要求6所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：所述压电薄膜的材料为石英晶体或聚偏氟乙烯材料。

8.如权利要求7所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：在所述光声材料部的所述压电薄膜方向的两侧设有隔声部。

9.如权利要求8所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：所述隔声部与所述光声材料部连接。

10.如权利要求9所述的基于光声效应和压电效应的高灵敏脉冲光探测器，其特征在于：所述隔声部为空气缝隙。