[发明专利]一种激光清洗设备在审
申请号: | 202010623043.0 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111871967A | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 王志敏;许昌;彭钦军;薄勇;邹跃;涂玮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B13/00;H01S3/094;H01S3/117;H01S3/00 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 郑久兴 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 清洗 设备 | ||
1.一种激光清洗设备,其特征在于,包括:
大功率准连续固体激光器,用于产生高功率激光。
2.根据权利要求1所述的激光清洗设备,其特征在于,所述大功率准连续固体激光器包括:主振荡器和功率放大器;
所述主振荡器为侧面或者端面连续泵浦、声光调Q固体激光器方式,输出准连续脉冲激光;
所述功率放大器为高功率LD阵列连续泵浦的全固态放大器。
3.根据权利要求1所述的激光清洗设备,其特征在于,还包括:
指示光发生装置,用于发出与所述扫描振镜入射激光同轴的可见指示光,所述可见指示光用于对待清洗面进行预扫描观测和定位。
4.根据权利要求1所述的激光清洗设备,其特征在于,还包括:
光束变换装置,其设置在激光输出光路上,所述光束变换装置用于将激光光斑整形成条状光斑。
5.根据权利要求4所述的激光清洗设备,其特征在于,还包括:
正棱柱多面体扫描转镜,其设置在激光输出光路上且所述正棱柱多面体扫描转镜的轴线垂直于所述激光输出光路,所述正棱柱多面体扫描转镜用于调整激光出射角度;
所述正棱柱多面体扫描转镜的轴线与所述条状光斑的长边平行,且所述正棱柱多面体扫描转镜的轴向长度大于所述条状光斑的长边的长度。
6.根据权利要求5所述的激光清洗设备,其特征在于,所述正棱柱多面体扫描转镜包括高速电机和正棱柱多面体;
所述高速电机用于带动所述正棱柱多面体沿其轴线旋转;
所述正棱柱多面体的每一个侧面均镀有对激光高反射膜。
7.根据权利要求5所述的激光清洗设备,其特征在于,还包括:
长焦距场镜,用于对经所述正棱柱多面体扫描转镜反射的激光进行聚焦,并减小光斑畸变。
8.根据权利要求1所述的激光清洗设备,其特征在于,还包括:
可移动承载平台,其用于调节激光清洗作业面的位置。
9.根据权利要求1所述的激光清洗设备,其特征在于,还包括:
控制系统,其与可移动承载平台连接,所述控制系统用于控制所述可移动承载平台的移动。
10.根据权利要求9所述的激光清洗设备,其特征在于,还包括:
监控系统,其与控制系统连接,所述监控系统用于实时监测清洗状况并反馈给所述控制系统。
11.根据权利要求9所述的激光清洗设备,其特征在于,所述大功率准连续固体激光器的主振荡器谐振腔内设置有光闸,所述控制系统与所述光闸连接,用于控制激光器整体的出/关光控制。
12.根据权利要求9所述的激光清洗设备,其特征在于,所述大功率准连续固体激光器的主振荡器设置有声光Q开关,所述控制系统与所述声光Q开关连接,用于控制激光器的快速出/关光控制。
13.根据权利要求1所述的激光清洗设备,其特征在于,还包括:
保护气体吹淋喷嘴装置,用于吹淋保护气以保护清洗作业面,防止氧化;
粉尘吸附回收装置,用于吸附粉尘防止粉尘飘散,保护作业环境。
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