[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010623053.4 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111711911B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 畠山庸平;林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 温剑;王迎 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体一侧的防尘膜；其特征在于，
所述支撑载体包括主体部、设置在所述主体部上的至少两个支承部、通孔、位于所述支承部靠近所述通孔一侧的重叠部；
所述防尘膜的边缘固定在所述支承部上，所述防尘膜的内部悬设在所述通孔和所述重叠部的一侧；
所述支承部与所述主体部为一体成型结构；
所述支承部关于所述通孔呈对称和/或均匀分布。
2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部与所述主体部为包括至少两层的层叠结构。
3.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部、所述主体部、所述重叠部为一体成型结构。
4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述通孔为圆形孔；并且，
所述支承部设置有两个，两个支承部设置在所述通孔的同一条直径上。
5.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述通孔为圆形孔；并且，
所述支承部设置有四个，四个支承部分别设置在所述通孔的两条相互垂直的直径上。
6.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
在所述主体部远离所述支承部的一侧形成与所述支承部相对应的凹槽。
7.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部在沿所述防尘膜所在平面方向上的横截面为圆形、椭圆形或者长方形。
8.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括如权利要求1至7任一项所述的微型麦克风防尘装置；其中，
所述微型麦克风防尘装置设置在所述MEMS麦克风的声孔处；或者，所述微型麦克风防尘装置设置在所述MEMS麦克风的芯片处。
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