[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风在审
申请号: | 202010623159.4 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111711912A | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 林育菁;池上尚克;游振江 | 申请(专利权)人: | 歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R19/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 温剑;袁文婷 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风,其中,包括载体以及设置在所述载体上的防尘网;其中,所述载体的形成有通孔,俯视观察时所述防尘网覆盖所述通孔;并且,所述载体由硅或者二氧化硅材料制成。利用上述发明能够有效的解决现有的微型麦克风防尘装置上的防尘网在高温环境下发生屈曲的问题。
技术领域
本发明涉及微型麦克风防尘技术领域,更为具体地,涉及一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风。
背景技术
为防止微型麦克风内部的芯片受到外界粉末、颗粒物、水分的影响,从而降低微型麦克风的使用寿命,通常情况下,都需要在微型麦克风内部与外界的连通处(如声孔)设计微型麦克风防尘装置,通过微型麦克风防尘装置将微型麦克风芯片与外界环境分隔开,起到保护微型麦克风芯片的作用。
然而,传统的微型麦克风防尘装置通常包括网部和载体部,两部分由不同的材料构成的,由于两部分所用的材料的厚度、机械性能以及热膨胀系数均不同,因此,在微型麦克风防尘装置的安装过程中,尤其是热处理过程中,微型麦克风防尘装置的内部(主要是各材料的交界面处)会产生较强的热应力。
例如,在现有工艺中,微型麦克风防尘装置的网部一般使用厚度数百nm至数μm左右的金属薄膜制成,而载体(carrier)部通常使用的厚度为数十μm左右的高分子材料制成,当整个装置处于高温环境时,受两者的接触面之间产生的应力差的强烈影响,网部会产生褶皱或变形。
此外,在传统工艺中,由于载体部(高分子材料)的热膨胀系数是网部(金属薄膜)热膨胀系数的5倍以上,因此,在某些情况下,例如在后续的安装工序中的热处理过程中,载体部会发生很大的翘曲,受到该翘曲的影响,网部会进一步发生大的变形,导致褶皱增大。
另外,即便将网部所用的材料替换为与载体部相同热膨胀系数的高分子材料,由于高分子材料本身具有较大的内部应力,因此也会导致网部发生变形从而产生褶皱。这种网部的褶皱或变形会使微型麦克风防尘装置的过滤性能劣化,进一步导致最终产品的成品率变差。
基于以上几个技术问题,亟需一种能够有效防止微型麦克风防尘装置中的网部在高温环境下发生屈曲的方法。
发明内容
鉴于上述问题,本发明的目的是提供一种微型麦克风防尘装置,以解决现有的微型麦克风防尘装置上的网部在高温环境下发生屈曲的问题。
本发明实施例中提供的微型麦克风防尘装置包括载体以及设置在所述载体上的防尘网;其中,所述载体的形成有通孔,俯视观察时所述防尘网覆盖所述通孔;并且,所述载体由硅或者二氧化硅材料制成。
此外,优选的方案是,所述防尘网由硅、硅化合物或者金属材料制成。
此外,优选的方案是,所述载体为中空的长方体或圆柱体结构。
此外,优选的方案是,所述防尘网包括连接部和过滤部,所述过滤部通过所述连接部与所述载体相连;并且,所述过滤部与所述通孔上下位置对应。
此外,优选的方案是,所述过滤部与所述通孔的横截面均为圆形结构;并且,所述过滤部上的网孔为圆形、多边形或异形结构。
此外,优选的方案是,所述过滤部上的网孔为蜂窝拓扑结构;并且,
所述蜂窝拓扑结构内的各正六角形的均由六个正三角形拓扑而成。
此外,优选的方案是,所述过滤部由具有疏水或者拨水性质的材料制成。
此外,优选的方案是,所述进入保护膜覆盖在所述通孔的一端或设置在所述通孔内。
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