[发明专利]一种基于量子隧道效应的新型压力传感器

权利要求书

1.一种基于量子隧道效应的新型压力传感器，包括外壳和微形变检测装置，其特征在于：所述外壳包括感压膜片，上隔水罩和下隔水罩；所述微形变检测装置包括压电步进马达、马达外框、压电陶瓷、探针和参考样品；

下隔水罩中央是感压膜片，参考样品固定在感压膜片的中心位置，马达外框沿感压膜片中轴线方向固定在下隔水罩上，沿外框中轴线的方向安装压电步进马达，压电步进马达下端固定压电陶瓷和探针，探针针尖正对参考样品，所述探针用于检测针尖与参考样品间的隧道电流。

2.根据权利要求1所述的一种基于量子隧道效应的新型压力传感器，所述感压膜片受到外界压力作用后发生微小形变，其特征在于：感压膜片带动固定在其上的参考样品发生运动，从而引起参考样品与针尖的距离发生微小变化，进而使得参考样品与针尖间的隧道电流大小发生变化。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于量子隧道效应的新型压力传感器，其特征在于：由隧道电流的变化可以检测感压膜片的微小形变，从而得到外界压力的变化。