[发明专利]抛光垫修整装置和抛光垫修整方法

权利要求书

1.一种抛光垫修整装置，其特征在于，包括：

抛光垫修整器，包括转动轴、以及安装于所述转动轴上的修整盘，所述修整盘具有用于对抛光垫的表面进行修整的修整面、以及连通到所述修整面的开孔；

形貌光检测器，具有结合于所述转动轴中且连通到所述开孔的光路通道，用于在所述修整盘修整所述抛光垫的表面时同时检测所述抛光垫的表面形貎。

2.根据权利要求1所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述抛光垫修整装置还包括：

抛光垫表面清洗器，包括高压气源和连通到所述修整面的气路通道，所述气路通道结合于所述转动轴中，所述抛光垫表面清洗器用于将所述高压气源提供的气体经由所述气路通道引导至所述抛光垫的表面，以对所述抛光垫的表面进行高压气体冲洗。

3.根据权利要求2所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述光路通道和/或所述气路通道在垂直于所述修整面的方向上贯穿所述转动轴，且所述气路通道连通到与所述光路通道连通的所述开孔。

4.根据权利要求1所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述光形貌检测器包括光源、光学传感器、以及信号处理电路，其中，

所述光源安装于所述光路通道的一端，且所述光路通道的另一端与所述开孔背离所述修整面的一端连通；

所述光学传感器与所述信号处理电路电连接，当所述修整盘修整所述抛光垫的表面时，所述修整面与所述抛光垫的表面接触，所述光源发出的光线经由所述光路通道和所述开孔照射至所述抛光垫的表面并产生干涉条纹，所述光学传感器接收所述干涉条纹，并将所述干涉条纹转化为对应的电信号，再将所述电信号传给所述信号处理电路；

所述信号处理电路接收所述电信号，并将所述电信号转换为表面形貌信息，以实现对所述抛光垫表面形貌的检测。

5.根据权利要求4所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述光源为高频闪烁白光源，产生所述干涉条纹的两束光为所述高频闪烁白光源发出的发射时间相邻的两束光。

6.根据权利要求5所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述高频闪烁白光源的闪烁频率在10000Hz以上。

7.根据权利要求4所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述光学传感器集成在所述光路通道内。

8.根据权利要求1所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述修整盘与所述转动轴的端部连接，具有旋转中心，且所述开孔位于所述旋转中心处。

9.根据权利要求8所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述抛光垫修整器包括第一驱动件，所述第一驱动件与所述转动轴相连，以通过所述转动轴驱动所述修整盘围绕所述旋转中心旋转、下压使所述修整面与所述抛光垫的表面接触、或上升使所述修整面与所述抛光垫的表面分开。

10.根据权利要求1所述的抛光垫修整装置，其特征在于，所述抛光垫修整器包括第二驱动件，所述第二驱动件用于当所述修整盘修整所述抛光垫的表面时驱动所述修整盘在所述抛光垫的表面上按照预设修整轨迹移动。

11.一种抛光垫修整方法，其特征在于，应用于如权利要求1-10任一项所述的抛光垫修整装置，所述方法包括：

接收抛光垫修整指令；

根据所述抛光垫修整指令，将所述修整盘下压使所述修整面与所述抛光垫的表面接触，以对所述抛光垫的表面进行修整；

在对所述抛光垫的表面进行修整的过程中，对所述抛光垫的表面形貌进行检测。

12.根据权利要求11所述的抛光垫修整方法，其特征在于，在对所述抛光垫的表面形貌进行检测之前，还包括：

对所述抛光垫的表面进行高压气体冲洗。

13.根据权利要求11所述的抛光垫修整方法，其特征在于，所述表面形貌包括开槽深度，在对所述抛光垫的表面形貌进行检测之后，还包括：

判断检测得到的所述开槽深度是否小于预设阈值；

若是，则将所述修整盘上升使所述修整面与所述抛光垫的表面分离，以终止对所述抛光垫进行修整。