[发明专利]一种半导体泵浦源的检测系统和方法有效

专利信息
申请号: 202010627018.X 申请日: 2020-07-01
公开(公告)号: CN111912605B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 吕张勇;师腾飞;陈文才;邱小兵;蒋峰 申请(专利权)人: 苏州创鑫激光科技有限公司;深圳市创鑫激光股份有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 代理人: 孟丽平
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 泵浦源 检测 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体泵浦源检测系统,其特征在于,包括:

激光器,所述激光器用于产生检测光;

激光分束器,所述激光分束器包括一个输入端和至少两个输出端,所述输入端连接所述激光器的输出端,至少一个所述输出端用于连接待测半导体泵浦源;

功率探测器,所述功率探测器连接所述激光分束器的其中一个输出端,用于检测所述其中一个输出端的功率。

2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述激光器包括泵浦模块、高反射率光栅、增益光纤和低反射率光栅;

所述泵浦模块、所述高反射率光栅、所述增益光纤和所述低反射率光栅依次连接。

3.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述增益光纤的长度在预设范围内,用于吸收部分泵浦光。

4.根据权利要求2或3所述的系统,其特征在于,所述低反射率光栅的输出端与所述激光分束器的输入端通过封装玻璃管连接。

5.根据权利要求2所述的系统,其特征在于,所述泵浦模块包括至少两个激光泵浦源和泵浦激光合束器;

所述至少两个激光泵浦源的输出端分别连接所述泵浦激光合束器的输入端,所述泵浦激光合束器的输出端连接所述高反射率光栅的输入端,所述激光泵浦源用于为所述激光器提供泵浦能量。

6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述激光器还包括红光发射器,所述红光发射器连接所述泵浦激光合束器的输入端,所述红光发射器可用于发射红光。

7.根据权利要求5或6所述的系统,其特征在于,所述激光器还包括光电探测器,所述光电探测器连接所述泵浦激光合束器的输入端,用于探测由所述待测半导体泵浦源返回至所述泵浦激光合束器的光的功率。

8.根据权利要求7所述的系统,其特征在于,所述光电探测器和所述功率探测器分别连接报警单元,所述报警单元用于当所述光电探测器和所述功率探测器检测的功率值小于预设值时进行报警。

9.一种半导体泵浦源的检测方法,应用于如权利要求1-8任一项所述的检测系统,包括步骤:

S101:使激光器依次工作于不同的工作电流下,并分别记录在不同工作电流下激光分束器的各输出端的输出光功率,以获得各输出端的分光比例;

S102:通过功率探测器探测的功率和所述分光比例得到所述激光分束器输出到所述待测半导体泵浦源的功率,调节激光器的工作电流,以使输出到所述待测半导体泵浦源的光功率达到目标检测功率;

S103:确定所述待测半导体泵浦源的正常工作时间,根据所述正常工作时间确定所述半导体泵浦源的回光承受能力。

10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

在执行所述步骤S101前,打开所述红光发射器发射红光,检测系统是否正常,无异常后再运行检测系统。

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