[发明专利]激光器谐振腔的智能调节系统和方法

权利要求书

1.一种激光器谐振腔的智能调节系统，其特征在于，所述系统包括激光器(110)、图像采集模块(120)、图像处理计算模块(130)及谐振腔调节模块(140)，其中，所述激光器(110)、所述图像采集模块(120)、所述图像处理计算模块(130)及所述谐振腔调节模块(140)依次连接，所述图像采集模块(120)用于采集所述激光器(110)的谐振腔的输出光场信息，所述谐振腔调节模块(140)包括谐振腔反射镜，所述图像处理计算模块(130)用于对所述输出光场信息进行处理计算，并输出所述谐振腔反射镜的调整参数，所述谐振腔调节模块(140)用于根据所述调整参数、对所述谐振腔反射镜进行调节。

2.根据权利要求1所述的激光器谐振腔的智能调节系统，其特征在于，所述激光器(110)为具有谐振腔的固体激光器。

3.根据权利要求1所述的激光器谐振腔的智能调节系统，其特征在于，所述图像采集模块(120)包括功率计(121)和光伏板(122)，所述系统还包括分束镜(150)，所述分束镜(150)用于将所述激光器(110)的输出光束分为透过光束和反射光束，所述功率计(121)用于实时接收所述透过光束、并获取激光的输出功率，所述光伏板(122)用于实时接收所述反射光束、并获取所述输出光场信息。

4.根据权利要求1所述的激光器谐振腔的智能调节系统，其特征在于，所述图像处理计算模块(130)包括近场图像处理模块，所述近场图像处理模块用于对所述输出光场信息进行图像去噪和图像增强。

5.根据权利要求1所述的激光器谐振腔的智能调节系统，其特征在于，所述图像处理计算模块(130)包括基于深度学习的卷积神经网络模型(200)，所述卷积神经网络模型(200)用于根据所述输出光场信息、计算出所述谐振腔反射镜的所述调整参数。

6.根据权利要求5所述的激光器谐振腔的智能调节系统，其特征在于，所述卷积神经网络模型(200)包括输入层、卷积层、池化层、全连接层及输出层，所述卷积层、所述池化层以及所述全连接层的参数已通过模型的学习和训练进行修正及更新，所述输出层的误差小于训练目标。

7.根据权利要求1所述的激光器谐振腔的智能调节系统，其特征在于，所述谐振腔反射镜包括电控输入反射镜(141)和电控输出反射镜(142)，所述电控输入反射镜(141)和所述电控输出反射镜(142)分别设置在所述激光器(110)的两侧，所述电控输入反射镜(141)和所述电控输出反射镜(142)均为压电陶瓷驱动的反射镜。

8.根据权利要求7所述的激光器谐振腔的智能调节系统，其特征在于，所述电控输入反射镜(141)用于根据所述调整参数进行曲率调节，所述电控输出反射镜(142)用于根据所述调整参数进行角度调节。

9.一种激光器谐振腔的智能调节方法，其特征在于，所述方法包括：

采集激光器(110)的谐振腔的输出光场信息；

对所述输出光场信息进行处理计算，并输出谐振腔反射镜的调整参数；

根据所述调整参数、对所述谐振腔反射镜进行调节。