[发明专利]一种硅晶圆吸附移动组件

权利要求书

1.一种硅晶圆吸附移动组件，包括固定组件(1)、移动组件(2)和活动道组件(3)，其特征在于：所述固定组件(1)包括摆动臂(101)、托板电机(102)、转动托盘(103)和吸盘(104)，所述摆动臂(101)背向托板电机(102)的一端套设在扳动电机(201)的输出轴上；

所述移动组件(2)包括扳动电机(201)、活动板(202)、伸缩杆(203)、滑动托板(204)、移动电机(205)和槽轮(206)，所述扳动电机(201)中部的环状结构上开有通孔，所述扳动电机(201)通过螺丝穿过其中部的环状结构上的通孔进入开口边螺纹孔(2022)内部与活动板(202)固定，所述扳动电机(201)下侧位于移动组件(2)中的中开口(2023)内部，所述活动板(202)通过螺丝穿过活动沉孔(2021)进入伸缩杆(203)伸出轴上端的螺纹孔内部与伸缩杆(203)连接，所述伸缩杆(203)位于杆容纳口(2041)内部，所述伸缩杆(203)通过螺丝穿过203上端边缘的通孔进入杆容纳口(2041)周围的螺纹孔内部与滑动托板(204)固定，所述移动电机(205)位于托板箍(2042)内部，所述移动电机(205)的输出轴两端各套设有一组槽轮(206)；

所述活动道组件(3)包括滑动轴(301)、立柱(302)和底板(303)，所述滑动轴(301)穿过滑动托板(204)两端的筒状结构，所述立柱(302)通过螺丝固定在底板(303)上侧，四组所述立柱(302)上侧的筒状结构内部设置有两组相互平行的滑动轴(301)。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆吸附移动组件，其特征在于：所述托板电机(102)的输出轴插设固定在转动托盘(103)的垂直部分内部，所述转动托盘(103)上侧的水平部分呈板状结构，所述转动托盘(103)的水平部分内部设置有若干组呈矩形阵列分布的吸盘(104)。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆吸附移动组件，其特征在于：所述滑动轴(301)为双层结构，所述滑动轴(301)的外侧部分为不锈钢管，所述滑动轴(301)的内侧部分为碳纤维杆。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆吸附移动组件，其特征在于：所述活动板(202)呈矩形板状结构，所述活动板(202)中部开有轮廓呈圆形的中开口(2023)，所述中开口(2023)外侧设置有六组呈环形阵列分布的贯穿活动板(202)的开口边螺纹孔(2022)，所述活动板(202)外侧设有四组活动沉孔(2021)，所述活动沉孔(2021)下侧的202下表面上均设置有底筒(2024)，所述底筒(2024)套设在伸缩杆(203)的伸出轴上端。

5.根据权利要求1所述的一种硅晶圆吸附移动组件，其特征在于：所述滑动托板(204)的上侧部分呈矩形板状结构，所述滑动托板(204)两侧的轮廓呈管状，所述滑动托板(204)两侧的管状结构的下端中部均开有管槽(2043)，所述滑动托板(204)内开有四组呈矩形阵列分布的杆容纳口(2041)，所述杆容纳口(2041)外侧均开有三组贯穿滑动托板(204)的螺纹孔，所述滑动托板(204)下侧设有两组托板箍(2042)。

6.根据权利要求1所述的一种硅晶圆吸附移动组件，其特征在于：所述立柱(302)的上端轮廓呈夹筒形，所述立柱(302)中部和下侧构成的轮廓呈L形，所述立柱(302)的垂直部分中开有减重槽，所述立柱(302)下端的水平部分内开有两组通孔。

7.根据权利要求1所述的一种硅晶圆吸附移动组件，其特征在于：所述吸盘(104)采用螺纹连接，所述吸盘(104)的吸附部分为软硅胶材质。