[发明专利]蒸镀加热源装置及其制作方法、蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010633126.8 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111647854A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 伍丰伟 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 高杨丽 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀加 热源 装置 及其 制作方法 | ||
1.一种蒸镀加热源装置，其特征在于，包括：
底部支撑装置；
坩埚，所述坩埚位于所述底部支撑装置上方；
热电偶，所述热电偶设置在所述底部支撑装置内，所述热电偶用于所述坩埚的温度检测；
坩埚盖，所述坩埚盖设置在所述坩埚上方；
其中，所述底部支撑装置上设置有反射涂层，用于将所述坩埚底部热量反射至所述坩埚的四周。
2.根据权利要求1所述的蒸镀加热源装置，其特征在于，所述底部支撑装置为镂空设置，所述底部支撑装置设置有支撑脚，所述底部支撑装置用于分散承接所述坩埚的重量。
3.根据权利要求1所述的蒸镀加热源装置，其特征在于，所述底部支撑装置的材料为耐高温、隔热材料，包括：碳化硅、氮化硼或氧化铝。
4.根据权利要求1所述的蒸镀加热源装置，其特征在于，所述底部支撑装置中间具有开孔，所述热电偶设置在所述底部支撑装置开孔处。
5.根据权利要求4所述的蒸镀加热源装置，其特征在于，所述热电偶为平面型热电偶。
6.根据权利要求1所述的蒸镀加热源装置，其特征在于，所述反射涂层为反射粒子涂层，所述反射涂层的反射粒子包括二氧化钛粒子。
7.一种蒸镀加热源装置的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S1、制作底部支撑装置；
步骤S2、在所述底部支撑装置中间开孔，将平面型热电偶安装至所述底部支撑装置的所述开孔处；
步骤S3、在所述底部支撑装置的非热电偶区域喷涂反射涂层；
步骤S4、将坩埚放置在所述底部支撑装置上，并制作坩埚盖。
8.根据权利要求7所述的蒸镀加热源装置的制作方法，其特征在于，所述底部支撑装置的材料为耐高温、隔热材料，包括：碳化硅、氮化硼或氧化铝；所述反射涂层的反射粒子包括二氧化钛粒子。
9.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：
真空腔体，所述真空腔体内形成有蒸镀腔；
蒸镀加热源装置，设置在所述真空腔体内，所述蒸镀加热源装置用以蒸镀材料；
防着板，设置在所述真空腔体内，并且所述防着板位于所述真空腔体与所述蒸镀加热源装置之间，所述防着板包括：支撑基板；
其中所述蒸镀加热源装置包括：
底部支撑装置；
坩埚，所述坩埚位于所述底部支撑装置上方；
热电偶，所述热电偶设置在所述底部支撑装置内，所述热电偶用于所述坩埚的温度检测；
坩埚盖，所述坩埚盖设置在所述坩埚上方；
其中，所述底部支撑装置上设置有反射涂层，用于将所述坩埚底部热量反射至所述坩埚的四周。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述底部支撑装置为镂空设置，所述底部支撑装置设置有支撑脚，所述底部支撑装置的材料为耐高温、隔热材料，包括：碳化硅、氮化硼或氧化铝；所述反射涂层的反射粒子包括二氧化钛粒子。
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