[发明专利]一种设备故障检测方法、系统、装置和存储介质

权利要求书

1.一种设备故障检测方法，其特征在于，包括：

获取所述设备的若干第一动作时长数据，所述第一动作时长数据对应所述设备单个工艺动作在一个产品周期下的持续时间，若干所述第一动作时长数据对应单个工艺动作在不同产品周期下的持续时间；

根据所述第一动作时长数据计算第一平均值；

根据所述第一平均值筛选所述第一动作时长数据，获取第二动作时长数据；

根据所述第二动作时长数据计算第二平均值；

根据所述第二平均值计算第二区间范围；

根据所述第二动作时长数据在所述第二区间范围内的比例，计算所述设备的动作稳定性；

确定所述动作稳定性大于阈值，所述设备不存在故障；

确定所述动作稳定性小于阈值，所述设备存在故障；

确定所述动作稳定性等于阈值，减小所述第二区间范围，重新进行动作稳定性和阈值的计算；

其中，所述阈值用于表征标准设备的动作稳定性。

2.根据权利要求1所述一种设备故障检测方法，其特征在于，所述根据所述第一平均值筛选所述第一动作时长数据，获取第二动作时长数据，其具体包括：

根据所述第一平均值，将所述第一动作时长数据分为若干个区间大小相同的集合；

获取所述第一动作时长数据中数据量最大的集合作为中心集合；

将所述中心集合及其相邻的若干个集合中的动作时长数据作为第二动作时长数据。

3.根据权利要求2所述一种设备故障检测方法，其特征在于，所述将所述中心集合及其相邻的若干个集合中的动作时长数据作为第二动作时长数据，其具体包括：

将所述中心集合、中心集合的前部集合和中心集合的后部集合中的动作时长数据作为第二动作时长数据，所述前部集合与所述后部集合基于所述中心集合中心对称。

4.根据权利要求1所述一种设备故障检测方法，其特征在于，所述根据所述第一平均值筛选所述第一动作时长数据，获取第二动作时长数据，其具体包括：

根据所述第一动作时长数据计算标准差；

根据所述第一平均值和所述标准差计算第一区间范围；

将所述第一动作数据中处于所述第一区间范围的数据作为第二动作时长数据。

5.一种设备故障检测系统，其特征在于，包括：

计时模块，用于获取所述设备的若干第一动作时长数据，所述第一动作时长数据对应所述设备单个工艺动作在一个产品周期下的持续时间，若干所述第一动作时长数据对应单个工艺动作在不同产品周期下的持续时间；

筛选模块，用于根据所述第一动作时长数据计算第一平均值；根据所述第一平均值筛选所述第一动作时长数据，获取第二动作时长数据；

计算模块，用于根据所述第二动作时长数据计算第二平均值；根据所述第二动作时长数据在所述第二区间范围内的比例，计算所述设备的动作稳定性；

检测模块，用于确定所述动作稳定性大于阈值，所述设备不存在故障；确定所述动作稳定性小于阈值，所述设备存在故障；确定所述动作稳定性等于阈值，减小所述第二区间范围，重新进行动作稳定性和阈值的计算；

其中，所述阈值用于表征标准设备的动作稳定性。

6.一种设备故障检测装置，其特征在于，包括：

计时器，用于获取所述设备的若干第一动作时长数据，所述第一动作时长数据对应所述设备单个工艺动作在一个产品周期下的持续时间，若干所述第一动作时长数据对应单个工艺动作在不同产品周期下的持续时间；

处理器，用于根据所述第一动作时长数据计算第一平均值；根据所述第一平均值筛选所述第一动作时长数据，获取第二动作时长数据；根据所述第二动作时长数据计算第二平均值；根据所述第二平均值计算第二区间范围；根据所述第二动作时长数据在所述第二区间范围内的比例，计算所述设备的动作稳定性；确定所述动作稳定性大于阈值，所述设备不存在故障；确定所述动作稳定性小于阈值，所述设备存在故障；确定所述动作稳定性等于阈值，减小所述第二区间范围，重新进行动作稳定性和阈值的计算；其中，所述阈值用于表征标准设备的动作稳定性。

7.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-4任一项所述的一种设备故障检测方法。