[发明专利]氨气去除系统及微气泡产生系统

说明书

公开了一种氨气去除系统及微气泡产生系统。所述氨气去除系统，包括：微气泡产生装置，从储存有将提供至气体洗涤器的洗涤工艺用水的储存罐接收至少一部分洗涤工艺用水，且能够在接收到的所述洗涤工艺用水中生成包括二氧化碳气体的微气泡，所述气体洗涤器向含氨气体喷射工艺用水。

技术领域

本发明涉及利用CO₂超细气泡(ultra fine bubble)的氨气去除系统。

背景技术

在半导体制造工序中产生的气体或者从普通工厂、发电厂或者燃烧炉等排出的气体中可能含有氨气。此外，由于氨气体有毒，需要被去除，目前，通过在含有氨的气体中注入硫酸(H₂SO₄)或盐酸(HCL)，或者注入二氧化硫(SO₂)或酸性的烟气(flue gas)而去除氨气。

例如，在韩国授权专利公报10-0938911号(2010年1月19日，用于去除废气中包含的氨的气体洗涤器)或者韩国授权专利公报10-0884286号(2009年2月11日，湿法洗涤系统)(以下称作“286现有专利”)等公开有去除氨气的技术。在“286现有专利”中公开了注入纯水、硫酸(H₂SO₄)或盐酸(HCL)，或者注入二氧化硫(SO₂)或酸性的烟气(flue gas)而去除氨气的技术。

此外，大容量地产生具有数百ppm至数千ppm浓度的废气的情形较多，如果对其进行高温热分解处理，则具有需要高昂的操作费用的缺点，利用清水(clean water)溶解的方法由于气体的溶解/气化平衡原理，溶解的氨气以被气化的状态再次排出，因此具有处理效率低的缺点。

发明内容

根据本发明的一实施例，其目的在于提供一种通过在工艺用水中以高浓度溶解二氧化碳而进行中和反应，从而可以减少二氧化碳的使用量，还可以节约反应时间的氨气去除系统和用于其的CO₂超细气泡产生装置。

根据本发明的一实施例，提供一种氨气去除系统，可以包括：微气泡产生装置，从储存有将提供至气体洗涤器的洗涤工艺用水的储存罐接收至少一部分洗涤工艺用水，且能够在接收到的所述洗涤工艺用水中生成包括二氧化碳气体的微气泡，所述气体洗涤器向含氨气体(含有氨气的气体)喷射工艺用水。

根据本发明的又一实施例，提供一种微气泡产生系统，可以包括：微气泡产生装置，能够在将提供至气体洗涤器的洗涤工艺用水中生成包括二氧化碳气体的微气泡，所述气体洗涤器向含氨气体喷射工艺用水；以及控制器，能够控制设置在向所述微气泡产生装置提供二氧化碳气体的管道的流量控制阀而调节注入所述微气泡产生装置的二氧化碳气体的量。

根据本发明的一个以上的实施例，能够提高CO₂气体和工艺用水之间的气/液反应的效率。即，以微气泡方式将二氧化碳以高浓度溶解在工艺用水中并引发二氧化碳和水的急剧的化学反应，从而使铵离子快速生成。

并且，通过使氨气以100％液体状态的铵离子形式存在，从而可以提高处理效率。

尤其是，根据本发明的一个以上的实施例，可以快速且经济地去除以大容量产生的废气中包括的氨气。

附图说明

图1是用于说明根据本发明的第一实施例的氨气去除系统的图。

图2是用于说明根据一实施例的微气泡生成装置的图。

图3至图5是用于说明根据一实施例的动态溶解部的图。

图6至图9是用于说明根据一实施例的喷嘴的图。

图10是用于说明根据本发明的第二实施例的氨气去除系统的图。

图11是用于说明根据本发明的第三实施例的氨气去除系统的图。

图12A至图15是用于说明本发明的效果的图。