[发明专利]一种LED-MOCVD含氨废气资源化处理方法及其处理系统

权利要求书

1.一种LED-MOCVD含氨废气资源化处理方法,其特征在于，利用膜处理法对LED-MOCVD含氨废气进行资源化处理。

2.如权利要求1所述的处理方法，其特征在于，先将所述废气过滤去除杂质后进入酸喷淋吸收去除氨气得到硫酸铵溶液，再将硫酸铵溶液pH调至10~12后进入疏水膜系统深度脱氨，脱氨后的硫酸盐溶液进入双极膜电渗析系统进行酸碱再生，氨气总回收率≥99.5%，从而实现资源化处理。

3.如权利要求2所述的处理方法，其特征在于，所述双极膜电渗析系统回收的酸碱分别返回调碱和酸喷淋吸收工序循环使用。

4.如权利要求3所述的处理方法，其特征在于，所述双极膜电渗析系统回收酸碱后的淡水进入反渗透膜组件得到浓水返回双极膜电渗析系统的盐室。

5.如权利要求4所述的处理方法，其特征在于，疏水膜系统深度脱氨回收的氨气进一步干燥脱水，脱水后的氨气纯度＞99.99999%，直接回用。

6.如权利要求5所述的处理方法，其特征在于，酸喷淋吸收废气中的氨，氨吸收率≥99.95%，所用酸为浓度1%～6%的硫酸。

7.如权利要求6所述的处理方法，其特征在于，疏水膜系统深度脱氨，控制膜两侧的压力差为10~50kpa，氨气侧的氨气纯度≥99.999%，含水率≤0.001%。

8.一种用于如权利要求1-7中任一权利要求所述处理方法的处理系统，其特征在于，包括过滤单元（1）、氨吸收单元（2）、pH调节单元（3）、深度脱氨单元（4）、双极膜电渗析单元（5）和反渗透单元（6）；所述过滤单元（1）与氨吸收单元（2）相连接，所述氨吸收单元（2）与pH调节单元（3）相连接，所述pH调节单元（3）与深度脱氨单元（4）相连接，所述深度脱氨单元（4）与双极膜电渗析单元（5）相连接，所述双极膜电渗析单元（5）与反渗透单元（6）相连接。

9.如权利要求8所述的处理系统，其特征在于，所述双极膜电渗析单元（5）分别与氨吸收单元（2）和pH调节单元（3）相连接。

10.如权利要求9所述的处理系统，其特征在于，所述反渗透单元（6）浓水出口与双极膜电渗析单元（5）盐室相连接。