[发明专利]热处理装置及热处理装置的洗净方法

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于：通过对衬底照射光而对该衬底进行加热，且具备：

腔室，收容衬底；

晶座，在所述腔室内保持所述衬底；

连续点亮灯，对所述腔室内照射光而对保持在所述晶座的所述衬底进行加热；

紫外线灯，对所述腔室内照射包含紫外线光的光；及

气体供给部，向所述腔室内供给包含臭氧的气体；且

一边使所述衬底的处理结束后的所述腔室内成为包含臭氧的氛围，一边从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于：

所述气体供给部向所述腔室内供给臭氧与氧气的混合气体，

一边使所述腔室内成为包含臭氧与氧气的氛围，一边从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光。

3.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于：

在利用所述连续点亮灯将所述包含臭氧的氛围加热的状态下，从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光。

4.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于：

在将虚设衬底保持于所述晶座的状态下，从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光。

5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于：

进行所述衬底的处理时所使用的热处理配方与使用了所述虚设衬底的紫外线光照射处理中使用的处理配方相同。

6.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于：

在所述腔室内不存在衬底的状态下，从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光。

7.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于：

还具备排出所述腔室内的氛围气体的排气部，

从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光之后，所述排气部从所述腔室内排出氛围气体。

8.根据权利要求7所述的热处理装置，其特征在于：

所述气体供给部从比所述晶座更靠上方的供气位置向所述腔室内供给包含臭氧的气体，

所述排气部从所述晶座与所述供气位置之间的高度位置排出氛围气体。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的热处理装置，其特征在于：

所述紫外线灯为照射闪光的闪光灯。

10.一种热处理装置的洗净方法，其特征在于：所述热处理装置通过对衬底照射光而对该衬底进行加热，且所述热处理装置的洗净方法具备：

处理步骤，对在腔室内保持于晶座的衬底照射光，从而对所述衬底进行加热；

气体供给步骤，向所述衬底的处理结束后的所述腔室内供给包含臭氧的气体；及

紫外线光照射步骤，一边使所述腔室内成为包含臭氧的氛围，一边从紫外线灯对所述腔室内照射包含紫外线光的光。

11.根据权利要求10所述的热处理装置的洗净方法，其特征在于：

在所述气体供给步骤中，向所述腔室内供给臭氧与氧气的混合气体，

在所述紫外线光照射步骤中，一边使所述腔室内成为包含臭氧与氧气的氛围，一边从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光。

12.根据权利要求10所述的热处理装置的洗净方法，其特征在于：

在从连续点亮灯对所述腔室内进行光照射而将所述包含臭氧的氛围加热的状态下，从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光。

13.根据权利要求10所述的热处理装置的洗净方法，其特征在于：

在所述紫外线光照射步骤中，于在所述腔室内将虚设衬底保持于所述晶座的状态下，从所述紫外线灯照射包含紫外线光的光。