[发明专利]一种柔性微波滤波器的制造方法

权利要求书

1.一种柔性微波滤波器的制造方法，包括以下步骤：

(1)使用KOH溶液对聚酰亚胺薄膜进行表面改性；

(2)使用Ag(NH₃)₂OH溶液实现对步骤(1)得到的聚酰亚胺薄膜表面进行离子交换；

(3)在步骤(2)得到的聚酰亚胺表面喷墨打印所需的柔性微波滤波器的图形；

(4)通过H₂O₂溶液对步骤(3)得到的聚酰亚胺表面进行还原处理；

(5)对步骤(4)得到的聚酰亚胺薄膜进行清洗；

该方法中存在如下三个工艺参数：

(I)KOH溶液处理时间对电阻率的影响；

(II)Ag(NH₃)₂OH溶液处理时间对电阻率的影响；

(III)H₂O₂溶液处理时间对电阻率的影响；

所述电阻率是指柔性微波滤波器的金属层的电阻率；

为了快速得到所述三个工艺参数的最佳值，采用滴漏装置，使得各步骤中的容器中的溶液的液面以恒定的速度下降，将聚酰亚胺薄膜竖直放置于容器中，溶液开始滴漏时，计时器计时；溶液滴漏完时，计时器停止计时，得到整个反应过程的耗时；

在滴漏装置以恒定的速度滴下溶液时，容器中的溶液的液面高度也将以恒定的速度下降，由此带来的结果是，聚酰亚胺薄膜的不同高度处各自所受溶液的作用时间与相应的高度成线性关系；

由于容器中的溶液的液面高度以恒定的速度下降，聚酰亚胺薄膜的离初始液面的不同高度即线性地代表了溶液处理时间，最终测量聚酰亚胺薄膜的不同高度处的电阻率，即对应得到KOH溶液、Ag(NH₃)₂OH溶液、H₂O₂溶液的处理时间分别对电阻率的影响。

2.如权利要求1所述的柔性微波滤波器的制造方法，其特征在于：在不同的试验阶段，容器中的分别放入KOH溶液、Ag(NH₃)₂OH溶液、H₂O₂溶液，更换之前，将容器清洗干净；或，准备三套完全相同的试验装置，三套试验装置的容器中分别放入KOH溶液、Ag(NH₃)₂OH溶液、H₂O₂溶液，聚酰亚胺薄膜在三个容器间转移。

3.如权利要求1所述的柔性微波滤波器的制造方法，其特征在于：将聚酰亚胺薄膜紧贴、无褶皱地固定于耐腐蚀的长条形板材上，聚酰亚胺薄膜连同耐腐蚀的长条形板材一起放置于容器中，以使得聚酰亚胺薄膜的不同高度处所受溶液的作用的时间存在精确的线性关系。

4.一种试验装置，用于实现权利要求1所述的方法，其特征在于：试验装置包括有：盛放有化学溶液的容器固定放置在机架上，容器的底部受底部横板的支撑；在容器中盛放溶液，容器底部设置有泄放管路，泄放管路上设置有滴漏装置，所述滴漏装置能够以预设的恒定的速度滴下溶液；滴漏装置下方设置有废液接收器。

5.如权利要求4所述的试验装置，其特征在于：所述容器为不同高度处始终保持水平截面积恒定的容器。