[发明专利]基于亚波长光栅结构的TE0

权利要求书

1.基于亚波长光栅结构的TE₀模式阻塞滤波器，包括矩形二氧化硅基板(1)，其特征在于，还包括设置在矩形二氧化硅基板(1)上的第一总线波导(2)和第二总线亚波长光栅波导(3)，

第一总线波导(2)包括第一圆弧波导(202)、第二圆弧波导(203)、第一直波导(204)、第三圆弧波导(205)和第四圆弧波导(206)，第一圆弧波导(202)一端为信号输入端(6)，第一圆弧波导(202)另一端和第二圆弧波导(203)一端平滑连接，第二圆弧波导(203)另一端与第一直波导(204)一端平滑连接，第一直波导(204)另一端与第三圆弧波导(205)一端平滑连接，第三圆弧波导(205)另一端与第四圆弧波导(206)一端平滑连接，第四圆弧波导(206)另一端为第一信号输出端(7)，

第二总线亚波长光栅波导(3)包括沿直线依次连接的第二直波导(301)、亚波长光栅波导(302)和第三直波导(303)。

2.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅结构的TE₀模式阻塞滤波器，其特征在于，所述的亚波长光栅波导(302)包括沿直线分布的多个大小相同的长方体，各个长方体组成的直线阵列。

3.根据权利要求2所述的基于亚波长光栅结构的TE₀模式阻塞滤波器，其特征在于，所述的第一圆弧波导(202)和第四圆弧波导(206)以第一直波导(204)的中心垂线对称分布；第二圆弧波导(203)和第三圆弧波导(205)以第一直波导(204)的中心垂线对称分布。

4.根据权利要求3所述的基于亚波长光栅结构的TE₀模式阻塞滤波器，其特征在于，所述的第一圆弧波导(202)、第二圆弧波导(203)、第三圆弧波导(205)和第四圆弧波导(206)的外圆半径均为5um，内圆半径均为4.5μm，宽度均为0.5um，厚度均为0.22um，圆心角均为30°；第一直波导(204)的长度为l3μm，宽度为0.5um，厚度为0.22um。

5.根据权利要求4所述的基于亚波长光栅结构的TE₀模式阻塞滤波器，其特征在于，所述的长方体共54个，各个长方体等间隔分布，长方体的长为0.6um，宽为0.22um,高为0.22um，第二直波导(301)和第三直波导(303)的长度均为3.75um，宽度均为0.6um，厚度均为0.22um，亚波长光栅波导(302)的总长度为16.9um，厚度为0.22μm，第一直波导(204)与亚波长光栅波导(302)的间距为60nm。

6.根据权利要求5所述的基于亚波长光栅结构的TE₀模式阻塞滤波器，其特征在于，所述的第一总线波导(2)和第二总线亚波长光栅波导(3)均为狄拉克半金属Cd3As2材质。