[发明专利]一种测量氮化镓材料的镓空位浓度的方法及系统有效
| 申请号： | 202010641596.9 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN111830007B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 顾泓;刘宗亮;王建峰;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 氮化 材料 空位 浓度 方法 系统 | ||
1.一种测量氮化镓材料的镓空位浓度的方法，其特征在于，所述方法包括：
在相同条件下，对待测氮化镓材料和标准氮化镓材料分别进行拉曼光谱测试，以获取所述待测氮化镓材料的拉曼强度和所述标准氮化镓材料的拉曼强度；
根据所述待测氮化镓材料的拉曼强度、所述标准氮化镓材料的拉曼强度以及拉曼强度和氮化镓材料的镓空位浓度的正相关关系，计算出所述待测氮化镓材料的镓空位浓度；
其中，所述待测氮化镓材料的拉曼强度包括：所述待测氮化镓材料的拉曼光谱中在拉曼位移为650cm-1至拉曼位移为680cm-1之间的最大拉曼强度；
所述标准氮化镓材料的拉曼强度包括：所述标准氮化镓材料的拉曼光谱中在拉曼位移为650cm-1至拉曼位移为680cm-1之间的最大拉曼强度；
其中，所述待测氮化镓材料的拉曼强度还包括：所述待测氮化镓材料的拉曼光谱中的最大拉曼强度；
所述标准氮化镓材料的拉曼强度还包括：所述标准氮化镓材料的拉曼光谱中的最大拉曼强度；
其中，根据所述待测氮化镓材料的拉曼强度、所述标准氮化镓材料的拉曼强度以及拉曼强度和氮化镓材料的镓空位浓度的正相关关系，计算出所述待测氮化镓材料的镓空位浓度，包括：
利用下面的式子计算出所述待测氮化镓材料的镓空位浓度，
Ny/Nc＝PyEc/PcEy，
其中，Ny表示所述标准氮化镓材料的镓空位浓度，Nc表示所述待测氮化镓材料的镓空位浓度，Py表示所述标准氮化镓材料的拉曼光谱中在拉曼位移为650cm-1至拉曼位移为680cm-1之间的最大拉曼强度，Pc表示所述待测氮化镓材料的拉曼光谱中在拉曼位移为650cm-1至拉曼位移为680cm-1之间的最大拉曼强度，Ey表示所述标准氮化镓材料的拉曼光谱中的最大拉曼强度，Ec表示所述待测氮化镓材料的拉曼光谱中的最大拉曼强度。
2.一种测量氮化镓材料的镓空位浓度的系统，其特征在于，所述系统包括：
拉曼光谱仪，用于在相同条件下对待测氮化镓材料和标准氮化镓材料分别进行拉曼光谱测试，以获取所述待测氮化镓材料的拉曼强度和所述标准氮化镓材料的拉曼强度；
计算装置，用于根据所述待测氮化镓材料的拉曼强度、所述标准氮化镓材料的拉曼强度以及拉曼强度和氮化镓材料的镓空位浓度的正相关关系，计算出所述待测氮化镓材料的镓空位浓度；
其中，所述待测氮化镓材料的拉曼强度包括：所述待测氮化镓材料的拉曼光谱中在拉曼位移为650cm-1至拉曼位移为680cm-1之间的最大拉曼强度；
所述标准氮化镓材料的拉曼强度包括：所述标准氮化镓材料的拉曼光谱中在拉曼位移为650cm-1至拉曼位移为680cm-1之间的最大拉曼强度；
其中，所述待测氮化镓材料的拉曼强度还包括：所述待测氮化镓材料的拉曼光谱中的最大拉曼强度；
所述标准氮化镓材料的拉曼强度还包括：所述标准氮化镓材料的拉曼光谱中的最大拉曼强度；
其中，所述计算装置进一步用于利用下面的式子计算出所述待测氮化镓材料的镓空位浓度，
Ny/Nc＝PyEc/PcEy，
其中，Ny表示所述标准氮化镓材料的镓空位浓度，Nc表示所述待测氮化镓材料的镓空位浓度，Py表示所述标准氮化镓材料的拉曼光谱中在拉曼位移为650cm-1至拉曼位移为680cm-1之间的最大拉曼强度，Pc表示所述待测氮化镓材料的拉曼光谱中在拉曼位移为650cm-1至拉曼位移为680cm-1之间的最大拉曼强度，Ey表示所述标准氮化镓材料的拉曼光谱中的最大拉曼强度，Ec表示所述待测氮化镓材料的拉曼光谱中的最大拉曼强度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，未经中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010641596.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
