[发明专利]高效的陶瓷封装工艺在审
申请号: | 202010641632.1 | 申请日: | 2020-07-06 |
公开(公告)号: | CN111785649A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 徐罕;王成迁;吉勇;李守委 | 申请(专利权)人: | 无锡中微高科电子有限公司;中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/10 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅;涂三民 |
地址: | 214028 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高效 陶瓷封装 工艺 | ||
本发明涉及高效的陶瓷封装工艺,它包括以下步骤:在管壳载具的上表面涂上热解键临时键合胶;将陶瓷管壳通过热解键临时键合胶呈批量性、阵列式贴装压合在管壳载具的上表面,形成陶瓷管壳阵列;对陶瓷管壳阵列进行烘烤,使得热解键临时键合胶固化;以陶瓷管壳的位置为基准完成陶瓷封帽在陶瓷管壳上的贴装步骤,形成陶瓷封装体;在管壳载具的底部进行加热,使热解键临时键合胶的粘合胶力降低,完成陶瓷封装体与管壳载具的解键合步骤;用吸嘴吸取陶瓷封装体,使陶瓷封装体与管壳载具完成分离。本发明将单颗组装的陶瓷管壳进行多颗组合排布,实现了大规模的集成机种制造,提升了工艺集成度,提高了效率,增加了产出,提升了产品良率和品质。
技术领域
本发明涉及一种主要适用于陶瓷管壳等类似生产线的陶瓷封装工艺,具体地说是一种高效的陶瓷封装工艺。
背景技术
现代化制造业的智能和高度集成的需求,以传统制造业的方式和方法已无法满足现状。加之劳动力成本的上升,给企业的发展带来了较大的压力。
在工业4.0的趋势下,将传统的生产组装工艺进行高度的集中整合,实现高速模块化的生产,是迫在眉睫的必要工作。
在未来发展的数字化、网络化、智能化的制造要求中,首先要实现智能化制造。智能化制造要求将控制系统、私服、传感器、仪表、数控、工业机器等整合入实际需求中去,实现制造业的高度集中、高速和高效。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种可以提升工艺集成度、提高效率、增加产出并提升产品良率和品质的高效的陶瓷封装工艺。
按照本发明提供的技术方案,所述高效的陶瓷封装工艺包括以下步骤:
步骤a1、在管壳载具的上表面涂上热解键临时键合胶;
步骤b1、将陶瓷管壳通过热解键临时键合胶呈批量性、阵列式贴装压合在管壳载具的上表面,使相邻陶瓷管壳之间的横向间距相等、纵向间距相等,形成陶瓷管壳阵列;
步骤c1、对陶瓷管壳阵列进行烘烤,使得热解键临时键合胶固化,以增加陶瓷管壳与管壳载具之间的粘合力;
步骤d1、以陶瓷管壳的位置为基准完成陶瓷封帽在陶瓷管壳上的贴装步骤,形成陶瓷封装体;
步骤e1、在管壳载具的底部进行持续恒温加热,使热解键临时键合胶的粘合胶力降低,完成陶瓷封装体与管壳载具的解键合步骤;
步骤f1、用吸嘴吸取陶瓷封装体,使陶瓷封装体与管壳载具完成分离。
作为优选,所述管壳载具为硬度HR70以上的钢材质、铝材质或者合金材质,且管壳载具的厚度为1~2mm。
作为优选,所述热解键临时键合胶的流动性在100~300pa·s,步骤c1中的烘烤温度控制在125~230℃,步骤e1中的加热温度控制在150~300℃。
一种高效的陶瓷封装工艺包括以下步骤:
步骤a2、在管壳载具的上表面涂上腐蚀解键临时键合胶;
步骤b2、将陶瓷管壳通过腐蚀解键临时键合胶呈批量性、阵列式贴装压合在管壳载具的上表面,使相邻陶瓷管壳之间的横向间距相等、纵向间距相等,形成陶瓷管壳阵列;
步骤c2、从管壳载具的下方往上以UV光照射陶瓷管壳阵列,使腐蚀解键临时键合胶固化,以增加陶瓷管壳与管壳载具之间的粘合力;
步骤d2、以陶瓷管壳的位置为基准完成陶瓷封帽在陶瓷管壳上的贴装步骤,形成陶瓷封装体;
步骤e2、将陶瓷封装体浸泡在腐蚀液中,使腐蚀解键临时键合胶的粘合胶力降低,完成陶瓷封装体与管壳载具的解键合步骤;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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