[发明专利]具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚及其倾倒方法在审
申请号: | 202010641659.0 | 申请日: | 2020-07-06 |
公开(公告)号: | CN111926392A | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 胡佳;张培林;武建军;柴利春;张作文;王志辉 | 申请(专利权)人: | 大同新成新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人: | 杨凯;连慧敏 |
地址: | 037002 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 自动 倾倒 功能 半导体 石墨 坩埚 及其 方法 | ||
本发明公开了具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚,包括底座,底座顶面一侧的中部设有矩形的立柱;底座的顶面中部设有固定板,固定板的顶面中部设有矩形柱,矩形柱的顶端中部设有支撑块,支撑块的顶面固定设有半球状的卡接座;卡接座的上方设有承载板;承载板内的中部开设有调节腔,调节腔内设有调节组件;承载板的顶面中部水平设有圆形的固定块,固定块的上方设有圆形的耐热棉板,耐热棉板的顶面设有石墨坩埚;本发明便于操作,通过驱动组件和调节组件,解决了不便于根据石墨坩埚的尺寸进行夹持固定的问题;通过升降组件和电推缸,解决了现有放料工作效率较低的问题;通过电推杆解决了现有石墨坩埚内的液体不便于倾倒的问题。
技术领域
本发明涉及石墨坩埚的技术领域,尤其涉及具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚及其倾倒方法。
背景技术
半导体石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小;对酸碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性;半导体石墨坩埚在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼;现有的石墨坩埚存在以下缺点:1、现有的半导体石墨坩埚的固定装置不便于对不同尺寸的石墨坩埚进行夹持固定;2、现有的半导体石墨坩埚在向石墨坩埚内放料时,通过采用镊子夹取放料的方法,此方法费时费力,导致工作效率较低;3、现有半导体石墨坩埚内的液体不便于进行自动倾倒的缺点。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚,包括底座,所述底座为水平设置的矩形板状,在所述底座顶面一侧的中部竖向固定设有矩形的立柱,在所述立柱内的中部竖向开设有矩形的升降腔,且在所述升降腔内设有升降组件;在所述升降腔下方的立柱内部开设有矩形的电机腔;在所述底座的顶面中部水平固定设有矩形的固定板,在所述固定板的顶面中部竖向固定设有矩形柱,在所述矩形柱的顶端中部竖向固定设有矩形的支撑块,在所述支撑块的顶面固定设有半球状的卡接座,且所述卡接座顶面开设有圆形的卡接槽;在所述卡接座的上方水平设有矩形板状的承载板,在所述承载板的底面中部竖向固定设有竖杆,在所述竖杆的底端固接有转动球,且所述转动球的下半部球体活动卡设在卡接座的卡接槽内;在所述承载板内的中部横向开设有矩形调节腔,在所述调节腔内设有调节组件;
所述承载板的顶面中部水平固定设有圆形的固定块,所述固定块的上方水平设有圆形的耐热棉板,所述固定块内开设有圆形的减震腔,所述减震腔内均设有减震组件;所述耐热棉板的顶面设有圆柱状的石墨坩埚;所述石墨坩埚两侧的承载板顶面上均活动设有滑块,每个所述滑块的顶面均竖向固接有弧形夹板,且两个弧形夹板的内弧面均朝内设置;所述承载板一端的中部竖向固定设有矩形的驱动箱,所述驱动箱设有驱动组件。
优选地,在所述立柱的内侧面上部竖向活动设有滑板,在所述滑板的外侧面中部横向固接有电推缸,在所述电推缸的伸缩端顶部固定设有敞口朝上的下料漏斗,且所述下料漏斗的侧壁为设置阶梯状。
优选地,所述升降组件包括第一电机、螺纹杆、螺纹筒和连接柱,所述第一电机竖向固定设置在电机腔内;在所述升降腔内的顶部和底部均水平固定设有第一轴承,所述螺纹杆竖向设置在升降腔内,且所述螺纹杆的两端均固接在第一轴承的内圈中;所述螺纹杆的底端贯穿进电机腔内,并通过联轴器与第一电机的电机轴同轴固接;在所述螺纹杆的杆体上活动套设有螺纹筒,在所述螺纹筒的筒体一侧横向固接有连接柱,在所述立柱的内侧面上沿升降腔的高度竖向开设有条形开口,且所述连接柱的外端从条形开口内延伸出与滑板的内侧面固接。
优选地,在所述矩形柱两侧的顶部均固定设有槽口朝外的第一铰座,在每个所述第一铰座的槽口内均活动铰接有朝上倾斜设置的电推杆,在所述承载板底面两侧的中部均固接有槽口朝下的第二铰座,且每个所述电推杆的伸缩端顶部均活动铰接在第二铰座的槽口内。
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