[发明专利]一种混合等离子体波导的光电探测器

权利要求书

1.一种混合等离子体波导的光电探测器，其特征在于：包括：衬底，所述衬底的上表面铺设有硅波导和第一金属电极，所述硅波导的上表面设有由黑砷磷薄膜和石墨烯薄膜相接触组成的异质结，所述石墨烯薄膜的一部分与黑砷磷薄膜相接触，所述异质结的上表面设有第二金属电极，所述石墨烯薄膜的一部分延伸离开硅波导，并与第一金属电极的上表面接触。

2.根据权利要求1所述的一种混合等离子体波导的光电探测器，其特征在于：所述石墨烯薄膜的下表面与硅波导的上表面接触，所述石墨烯薄膜的上表面与黑砷磷薄膜的下表面接触，所述黑砷磷薄膜的上表面与第二金属电极接触。

3.根据权利要求1所述的一种混合等离子体波导的光电探测器，其特征在于：所述第一金属电极的材质为金、银或者铜。

4.根据权利要求1所述的一种混合等离子体波导的光电探测器，其特征在于：所述第二金属电极的材质为金、银或者铜。

5.根据权利要求1所述的一种混合等离子体波导的光电探测器，其特征在于：所述第一金属电极与第二金属电极之间的距离大于等于10nm且小于等于100nm。

6.根据权利要求1所述的一种混合等离子体波导的光电探测器，其特征在于：所述黑砷磷薄膜的禁带宽度≤0.15eV。

7.根据权利要求1所述的一种混合等离子体波导的光电探测器，其特征在于：所述衬底为二氧化硅。

8.根据权利要求1所述的一种混合等离子体波导的光电探测器，其特征在于：所述石墨烯薄膜为单层石墨烯。