[发明专利]用于红外测温仪的调节装置、红外测温系统及工作方法

说明书

本发明涉及红外温度测量技术领域，公开了一种用于红外测温仪的调节装置、红外测温系统及工作方法。该调节装置包括第一角度调整机构、第二角度调整机构和控制模块，第一角度调整机构与第二角度调整机构用于从两个不同方向调节探头的测量角度，控制模块用于根据红外测温仪测量到的温度控制第一角度调整机构和/或第二角度调整机构的调节状态，以调整探头的测量角度。该红外测温系统包括探头角度可调的红外测温仪和该调节装置。利用该红外测温系统的工作方法，可根据温度变化规律找到最佳的测温位置，代替手动控制定位，实现自动控制定位，提高测温的准确性和可重复性。

技术领域

本发明涉及红外温度测量技术领域，特别是涉及一种用于红外测温仪的调节装置、红外测温系统及工作方法。

背景技术

在碳化硅晶体生长过程中，控温是非常关键的，由于碳化硅晶体生长温度区间很窄，一旦产生温度变化就有可能影响晶体生长的质量。由于测温需要，通常在使用的坩埚的顶部保温毡中心开孔，通过红外测温仪测量坩埚顶部温度。而测温孔中的不同位置对外辐射角度不同，导致在测温孔中不同位置的温度分布不相同，从边缘到中心至少有几十度的温度偏差，这个温度偏差会严重影响晶体的质量。因此红外测温仪的瞄准是晶体生长过程中非常重要的调节过程。由于热场每次都会重新装入，位置会有变化，需要多次调整。现有技术中一般采用两个方向可以调整的旋转滑台手动调整红外的瞄准位置，尽可能准确瞄准，但是由于温度变化比较大，很难找到精确瞄准位置；且采用手动调整，操作难度大，对工人经验要求高，可重复性差。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明实施例的目的是提供一种用于红外测温仪的调节装置、红外测温系统及工作方法，以解决现有技术中采用手动调整红外测温仪的瞄准位置存在的操作难度大，准确性差的技术问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供一种用于红外测温仪的调节装置，包括：第一角度调整机构、第二角度调整机构和控制模块，所述第一角度调整机构与所述第二角度调整机构分别和红外测温仪的探头连接，用于从两个不同方向调节所述探头的测量角度，所述控制模块分别与红外测温仪、所述第一角度调整机构和所述第二角度调整机构电连接，用于根据所述红外测温仪测量到的温度控制所述第一角度调整机构和/或所述第二角度调整机构的调节状态，以调整所述探头的测量角度。

其中，所述第一角度调整机构包括第一步进电机和绕第一水平轴线转动设置的第一旋转架，所述第一步进电机的输出轴与所述第一旋转架的第一端连接，所述第一旋转架的第二端通过所述第二角度调整机构与所述探头连接。

其中，所述第二角度调整机构包括第二步进电机和绕第二水平轴线转动设置的第二旋转架，且所述第二水平轴线与所述第一水平轴线相互垂直，所述第一旋转架的第二端与所述第二角度调整机构的所述第二步进电机连接，所述第二步进电机的输出轴与所述第二旋转架的第一端连接，所述第二旋转架的第二端用于与所述红外测温仪的探头连接。

其中，所述第一旋转架和所述第二旋转架均为“L”型弯板。

其中，所述控制模块包括记录器、比较器和控制器，所述记录器与所述红外测温仪电连接，用于记录所述红外测温仪的探头的测量角度以及所述探头处于该测量角度时所述红外测温仪测得的对应温度；所述比较器与所述记录器电连接，用于比较所述红外测温仪测得的温度值大小关系；所述控制器分别与所述比较器、所述第一角度调整机构和所述第二角度调整机构电连接，用于根据所述比较器比较得出的温度最小值对应的所述探头的获取角度来通过所述第一角度调整机构和所述第二角度调整机构调节所述探头的测量角度。

其中，所述记录器分别与所述第一角度调整机构的所述第一步进电机和所述第二角度调整机构的所述第二步进电机电连接，用于根据所述第一步进电机和所述第二步进电机的脉冲次数来判断并记录所述探头的测量角度。