[发明专利]一种气液反应体系的稳压循环系统和清洗设备

说明书

本发明公开了一种气液反应体系的稳压循环系统和清洗设备，包括反应装置，所述反应装置为密闭容器且连接有进气管路、循环管路，其特征在于，所述反应装置上还连接有稳压管路，所述稳压管路包括用于收集所述反应装置内杂质气体的集气管路、用于排出所述集气管路中收集的杂质气体的泄压装置，所述集气管路上还设置有用于检测集气管路气压的气压检测模组，所述集气管路中气压较大时所述气压检测模组将所述泄压装置启动。气液二相物质反应时存在的杂质气体能够及时的通过集气管路排出，且由于气压检测模组可以根据气压大小控制泄压装置的启闭，从而能够及时调节反应装置内的气压大小，维持气压稳定，有利于反应进行，提高反应转化率，提高产能。

技术领域

本发明涉及光伏臭氧清洗技术领域，尤其涉及一种气液反应体系的稳压循环系统和清洗设备。

背景技术

随着光伏电池转化效率的逐步提高，对制程过程的洁净度要求也越来越高。目前在光伏湿法清洗中，一般采用HF+HCL或RCA清洗来清洗金属杂质和对硅片脱水，但HF+HCL清洗不能很好的去除一些有机污染，而RCA清洗法中的双氧水具有不稳定性，很难达成量产的状态。

臭氧水是臭氧气体和水的混合液体，臭氧是氧气的同素异形体，具有极强的氧化性，其水溶液尤其对有机脏污具有很好的清洗能力，在污水处理、医疗、环保、光伏、半导体等领域具有非常广泛的应用。以往在污水处理等方向上运用臭氧水时对其浓度的要求不是很高，随着近年的技术进步和市场推广，臭氧水清洗工艺在光伏、半导体等产品的生产工艺上表现出优异的清洗效果，因此利用臭氧可实时制备的便利性，用臭氧清洗工艺代替RCA工艺，减少氨氮排放及双氧水的消耗量。

至于臭氧清洗工艺，目前常规使用的臭氧药液混合制备装置是采用文丘里混合器混合循环系统，依靠文丘里混合器把臭氧发生器产生的臭氧混合气体强行充入循环搅拌的药液中，并在混合桶中混合，再进入清洗槽中。如授权公告号为CN206604394U的中国发明专利中，公开了一种臭氧混合器及其臭氧水制备装置，采用文丘里混合器并分别连接第一单向阀和第二单向阀，从而使得经过文丘里混合器的水体能够溶解尽量多的臭氧气体，制备得到臭氧水。

但是采取上述制备装置制备臭氧水时，由于国际常用的臭氧最高气体浓度比为20-25%，未反应的氧气及微量氮气会随着臭氧在文丘里混合器中由于高压环境一起被强行充入药液中，并以气泡的形式存在于药液中。待药液流入清洗槽后，压力降低，药液中未反应的氧气、氮气会以气泡破裂的形式不断释放，在释放的过程中，造成槽液升温，会降低臭氧分解的半衰期，同时带动臭氧加速分解，导致药液内臭氧浓度下降明显甚至不足，因此清洗时只能通过延长清洗时间的方式来达到预定的洁净程度，影响了产能的提升。并且在长时间作业积累下，在清洗槽上部会形成一个局部高浓度氧气层，对设备的安全性也会造成很大的影响。

发明内容

为了解决上述现有技术中光伏臭氧清洗时，臭氧溶液浓度容易下降甚至不足的缺陷，本发明提出一种气液反应体系的稳压循环系统。

本发明采用的技术方案是，一种气液反应体系的稳压循环系统，包括反应装置，所述反应装置为密闭容器且连接有进气管路、循环管路，所述反应装置上还连接有稳压管路，所述稳压管路包括用于收集所述反应装置内杂质气体的集气管路、用于排出所述集气管路中收集的杂质气体的泄压装置，所述集气管路上还设置有用于检测集气管路气压的气压检测模组，所述集气管路中气压较大时所述气压检测模组将所述泄压装置启动。

优选的，所述集气管路包括插接于所述反应装置内的集气管、与所述集气管连通并位于反应装置外部的液位管，所述气压检测模组安装于所述液位管上。

优选的，所述液位管的一端与所述反应装置连通，另一端与所述集气管的顶端连通，所述气压检测模组包括至少两个安装于所述液位管上的液位测量装置。

优选的，所述集气管路上还设置有反吹管路，所述反吹管路一端连接有压缩空气进口。