[发明专利]状态管理系统和状态管理方法

说明书

本发明提供能够容易掌握装置的状态的状态管理系统和状态管理方法。状态管理系统包括：获取累积于装置的数据的获取部；执行部，其按规定周期执行将所获取的数据中预先选择的多种数据组合，计算表示上述装置的正常程度的一个指标的处理；和显示计算出的上述一个指标的显示控制部。

技术领域

本发明涉及状态管理系统和状态管理方法。

背景技术

一般而言，在基片处理装置等的各种装置中，监视运转中的数据，检测到异常的情况下，对操作者等进行通知。此外，接收到通知的操作者等根据需要使装置停止运转，对该装置进行维护等。

另一方面，为了减少使运转中的装置停止的情形，提高装置的生产性，例如，操作者等掌握运转中的装置的状态，在检测到异常之前实施适当的处置(即，提前防止发生异常)是有效的。

然而，装置管理的数据多种多样，操作者在运转中监视检测到异常之前的所有数据，掌握装置的状态并不容易。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-183708号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供容易掌握装置的状态的状态管理系统和状态管理方法。

用于解决技术问题的技术方案

依照一个方式，状态管理系统包括：

获取累积于装置的数据的获取部；

执行部，其按规定周期执行将所获取的数据中预先选择的多种数据组合，计算表示上述装置的正常程度的一个指标的处理；和

显示计算出的上述一个指标的显示控制部。

发明效果

依照本发明，能够提供容易掌握装置的状态的状态管理系统和状态管理方法。

附图说明

图1是表示状态管理系统的系统构成和基片处理装置中累积的数据例的图。

图2是表示解析装置的硬件构成的一例的图。

图3是表示解析装置的功能构成的一例的图。

图4是表示由解析装置进行的健康值计算处理的具体例的图。

图5是表示由解析装置进行的健康值计算处理的流程的流程图。

图6是表示由解析装置进行的运转率计算处理的具体例的图。

图7是表示由解析装置进行的运转率计算处理的流程的流程图。

图8是表示解析装置所显示的管理画面和详细画面的一例的图。

图9是表示对多个基片处理装置计算出的健康值和运转率的具体例的图。

附图标记说明

100：状态管理系统

110：主机装置

120_1～120_n：基片处理装置

140：解析装置

301：数据获取部

302：健康值计算部

303：运转率计算部

304：显示控制部

400：用户化画面

800：管理画面