[发明专利]石英支架及石英加热装置在审
申请号: | 202010646128.0 | 申请日: | 2020-07-07 |
公开(公告)号: | CN111733400A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 李学瑞;张宝勋;李炯利;王旭东;于公奇 | 申请(专利权)人: | 北京石墨烯技术研究院有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/54;C01B32/186 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人: | 魏朋 |
地址: | 100094 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 支架 加热 装置 | ||
本申请涉及一种石英支架及石英加热装置。石英支架通过设置第一支架和第二支架,并在第一支架上设置至少三个第一滚环,在第二支架上设置三个第二滚环,第一滚环和第二滚环一一对应,且对应的第一滚环和第二滚环所在位置高相同。其中,第一滚环沿第一支架的延伸方向依次排布,相邻的第一滚环的位置高度不同。在上述结构中,由于第二滚环与对应的第一滚环的连线垂直于第一支架的延伸方向,且第一滚环和第二滚环可以支撑并传送待生长石墨的铜箔,可以避免铜箔与炉管接触,增加铜箔在炉管内的面积,从而增加单次生长石墨烯的面积。石英支架可以提高石墨烯生产效率,同时避免在炉管内的铜箔与石英管壁粘接造成石墨烯褶皱或撕裂,提高石墨烯的质量。
技术领域
本申请涉及石墨烯技术领域,特别是涉及一种石英支架及石英加热装置。
背景技术
在工业生产中,一般采用管式炉气象沉积方法的卷对卷设备生产大面积石墨烯,即通过卷轴带动卷辊将铜箔传送至石英加热管内进行石墨烯的生长后,在石英加热管的另一侧进行收卷。
在传统技术中,生长石墨烯时铜箔与石英管的接触可能导致铜箔粘附于石英管壁上。由于铜箔与石英管壁之间存在粘接,完成生长石墨烯后移动铜箔会导致铜箔出现褶皱甚至撕裂,影响铜箔表面石墨烯的品质,同时残留的铜箔碎片在石英管内造成污染。
发明内容
基于此,有必要针对铜箔出现褶皱甚至撕裂影响铜箔表面石墨烯品质的问题,提供一种石英支架及石英加热装置。
本申请提供一种石英支架,包括:
第一支架,设置有至少三个第一滚环,所述第一滚环沿所述第一支架的延伸方向依次排布,相邻的所述第一滚环的位置高度不同;以及
第二支架,与所述第一支架相对设置,设置有至少三个第二滚环,所述第二滚环与所述第一滚环一一对应,所述第二滚环的位置与对应的所述第一滚环的位置高度相同,所述第二滚环与对应的所述第一滚环的连线垂直于所述第一支架的延伸方向;
其中,所述第一滚环和所述第二滚环用于支撑并传送待生长石墨的铜箔,所述第一支架、所述第二支架、所述第一滚环和所述第二滚环均采用石英材料制成。
在其中一个实施例中,所述石英支架还包括支架本体,所述支架本体开设有一通槽,所述通槽的一个侧壁形成所述第一支架,另一个侧壁形成所述第二支架,所述第一支架的延伸方向为所述通槽的延伸方向。
在其中一个实施例中,
所述第一支架开设有至少三个第一通孔,所述第一通孔沿所述通槽的延伸方向依次排布,相邻的所述第一通孔的位置高度不同,所述第二支架开设有至少三个第二通孔,所述第二通孔与所述第一通孔一一对应,所述第二通孔的位置与对应的所述第一通孔的位置的高度相同,所述第二通孔与对应的所述第一通孔的连线垂直于所述通槽的延伸方向;
所述石英支架还包括多个滚环支杆,所述滚环支杆分别设置于每个所述第一通孔和每个所述第二通孔,所述第一滚环和所述第二滚环套设于所述滚环支杆,所述第一滚环和所述第二滚环用于沿所述滚环支杆转动。
在其中一个实施例中,所述第一滚环和/或所述第二滚环与所述滚环支杆接触的表面设置有半圆形凸起,所述半圆形凸起用于减小所述第一滚环和/或所述第二滚环与所述滚环支杆之间的摩擦。
在其中一个实施例中,所述滚环支杆包括支杆头部和支杆杆部,所述支杆头部靠近所述支杆杆部的一侧加工有第一环形凸台,所述第一环形凸台的外径小于所述支杆头部的直径且大于所述支杆杆部的直径;
所述通槽中所述第一通孔和所述第二通孔所在位置的侧壁加工有第二环形凸台,所述第二环形凸台的外径与所述第一环形凸台的外径相同;
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