[发明专利]一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置

说明书

一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，包括提取装置主体，提取装置主体底部为圆盘结构，所述的提取装置主体顶部为水平结构，圆盘结构上方的水平结构一侧设置有固定块，另一侧为竖直结构，固定块与提取装置主体之间放置有FIB载网。该装置结合聚焦离子束，可以将样品特定区域提取出来，放置于FIB载网，减薄后用于透射电镜观察。该装置结构小巧，容易加工，使用简单，不需要拆卸聚焦离子束原有样品台旋转底座，在透射电子显微镜样品制备领域具有良好的应用前景。

技术领域

本发明涉及透射电子显微镜样品制备技术领域，特别涉及一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置。

背景技术

透射电子显微镜样品制备是聚焦离子束(Focused Ion Beam，FIB)的一个重要应用。采用聚焦离子束制备透射电镜样品的一般步骤为：1.在需要制样的部位采用电子束或离子束辅助沉积一层铂(Pt)作为保护；2.在铂的两侧用离子束进行刻蚀，最终制备出一个薄片；3.将薄片的底部与两侧进行刻蚀，仅一侧留数微米与基底相连作为支撑；4.采用提起系统，通过微机械控制系统将钨针尖端靠近薄片，采用离子束辅助沉积铂，将薄片粘在钨(W)针尖端上；5.将第3步留下的一侧进行刻蚀，彻底切断；6.通过微机械控制系统将薄片提取出来；7.通过微机械控制系统将薄片接近FIB载网的一齿；8.采用离子束辅助沉积将薄片粘在FIB载网上；9.采用聚焦离子束将钨针与薄片切断分离，完成提样；10.将薄片进一步减薄至200nm以下完成透射电镜样品制备。从制样步骤可以看出，与聚焦离子束的常规应用(刻蚀)不同，透射电镜样品制备除涉及样品外，还涉及FIB载网，需要将样品和FIB载网同时放入聚焦离子束样品仓中。现有的透射电镜样品提取装置相对来讲非常庞大，需要将FIB原有样品台旋转底座取下，安装过程也非常繁琐，而且其价格昂贵，零部件也容易损坏。因此，有必要设计加工新的透射电镜样品提取装置。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，该装置结合聚焦离子束，可以将样品特定区域提取出来，放置于FIB载网，减薄后用于透射电镜观察。具有结构小巧，容易加工，使用简单，不需要拆卸聚焦离子束原有样品台旋转底座的特点。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，包括提取装置主体1，提取装置主体1底部为圆盘结构，所述的提取装置主体1顶部为水平结构5，圆盘结构上方的水平结构5一侧设置有固定块2，另一侧为竖直结构4，固定块2与提取装置主体1之间放置有FIB载网3。

所述的提取装置主体1与固定块2接触侧设置有用于放置FIB载网3的弧形FIB载网槽8，弧形FIB载网槽8下方设置有用于固定内六角紧固螺钉的螺孔7。

所述的弧形FIB载网槽8位于提取装置主体1轴心一侧，靠近边缘。

所述的水平结构5用于承载厚度小于3mm的样品，对于厚度大于等于3mm的样品，粘在竖直结构4上。

所述的固定块2包括用于固定FIB载网3的弧形凸起9和用于穿过内六角紧固螺钉的圆孔10。

所述的内六角紧固螺钉螺杆的直径小于圆孔10的直径，内六角紧固螺钉头的直径大于圆孔10的直径。

所述的固定块2的水平长度大于提取装置主体1与固定块2贴合面的长度。

所述的固定块2的最高处不高于提取装置的水平结构5。

本发明的有益效果：

本发明提供了一种结构小巧、便于加工、使用简单，既方便放置样品，又方便放置FIB载网，不需要将聚焦离子束原有样品台旋转底座取下的透射电镜样品提取装置，该装置结合聚焦离子束，可实现透射电镜样品制备。

附图说明

图1为本发明结构示意图。