[发明专利]一种法布里珀罗高湿度传感器及其测量方法

权利要求书

1.一种法布里珀罗高湿度传感器，其特征在于：包括入射光源(1)、入射光波导(2)、光纤环形器(3)、光纤探头(4)、光纤固定件(4-1)、蜘蛛牵引丝(5)、移动反射面(6)、滑轨(6-1)、微型弹簧(7)、弹簧固定件(8)、出射光波导(9)以及光探测器(10)，入射光源(1)与光纤环形器(3)的①端口通过入射光波导(2)连接，光纤探头(4)由光纤环形器(3)的②端口引出并且通过光纤固定件(4-1)固定在滑轨(6-1)上，光纤固定件(4-1)与移动反射面(6)一侧之间设置蜘蛛牵引丝(5)，移动反射面(6)另一侧通过微型弹簧(7)与固定在滑轨(6-1)上的弹簧固定件(8)相连；光探测器(10)与光纤环形器的③端口之间通过出射光波导(9)连接；光纤探头(4)端面与移动反射面(6)构成法布里珀罗干涉腔，一部分出射光在光纤探头(4)的端面反射，另一部分出射光由光纤探头(4)出射后在移动反射面(6)发生反射并回射到光纤探头(4)中，两束反射光发生干涉，光探测器(10)监测并获得干涉光谱；所述的蜘蛛牵引丝(5)具有超收缩特性，在湿度大于70％时开始收缩，克服微型弹簧(7)的拉力而拉动移动反射面(6)移动靠近光纤探头(4)；当湿度降低时，蜘蛛牵引丝(5)超收缩减弱，拉力减小，无法克服微型弹簧(7)的拉力，移动反射面(6)在微型弹簧(7)的拉力作用下移动远离光纤探头(4)；并且所述的蜘蛛牵引丝在高湿度条件下最高能产生其本身50％轴向长度的收缩，带动法布里珀罗腔的长度发生显著变化。

2.依据权利要求1所述法布里珀罗高湿度传感器的测量方法，其特征在于：将法布里珀罗高湿度传感器放置于湿度测试环境中，法布里珀罗腔的长度在蜘蛛牵引丝的超收缩带动下随湿度发生变化，法布里珀罗腔的长度与光谱仪测得的双光束干涉光谱的自由光谱范围呈负相关关系；通过检测干涉光谱的自由光谱范围大小变化，测得所处环境的湿度大小的改变。