[发明专利]体声波谐振器及其频率调整方法、滤波器、电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；和

压电层，

其中：

顶电极、压电层和底电极形成层叠结构；

所述谐振器还包括层叠结构上表面的质量负载层，所述质量负载层中包括多个质量负载，所述多个质量负载中的每个质量负载包括纵向支撑部以及水平延伸部，支撑部的下端连接到层叠结构的上表面，所述水平延伸部的一端自支撑部的上端连接到支撑部；且

所述水平延伸部与所述层叠结构的上表面间隔开水平延伸，所述水平延伸部的下表面与所述层叠结构的上表面之间形成空隙部，所述水平延伸部的下表面限定所述空隙部的上侧，所述层叠结构的上表面限定所述空隙部的下侧。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述空隙部在周向方向上由所述支撑部包围。

3.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

至少一部分质量负载的所述水平延伸部在横向方向上的与所述一端相对的另一端和对应的支撑部的上端连接。

4.根据权利要求3所述的谐振器，其中：

所述水平延伸部覆盖其所在的质量负载对应的空隙部的整个上侧。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述质量负载层的上表面为平坦的上表面；

所述水平延伸部的上表面构成所述质量负载层的上表面的一部分。

6.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述多个质量负载包括多个筒状体，筒状体的内部形成所述空隙部，所述筒状体的筒壁形成所述支撑部，所述筒状体的顶部封闭且形成限定空隙部的上侧的所述水平延伸部。

7.根据权利要求6所述的谐振器，其中：

在横向方向上或者周向方向上相邻的至少部分筒状体之间，在空隙部的高度范围内，筒状体至少在筒状体的下部以连接层彼此连接，且所述连接层的厚度小于所述空隙部的高度；或者

在横向方向上或者周向方向上相邻的至少部分筒状体在横向方向上或周向方向上彼此间隔开。

8.根据权利要求6所述的谐振器，其中：

在横向方向上或者周向方向上相邻的至少部分筒状体之间，至少在空隙部的高度范围内彼此连接。

9.根据权利要求6所述的谐振器，其中：

在横向方向上或者周向方向上相邻的至少部分筒状体的水平延伸部彼此相接。

10.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

至少一部分质量负载的所述水平延伸部在横向方向上的与所述一端相对的另一端为横向自由端。

11.根据权利要求10所述的谐振器，其中：

所述质量负载的支撑部为柱体，所述水平延伸部自其所在的柱体水平延伸或绕其所在的柱体周向延伸。

12.根据权利要求11所述的谐振器，其中：

所述水平延伸部自其所在的柱体周向延伸而形成盘状结构。

13.根据权利要求12所述的谐振器，其中：

所述柱体为上端开口的中空柱体，所述盘状结构为中心开口的环状结构。

14.根据权利要求13所述的谐振器，其中：

所述中空柱体的中空空间的下侧由中空柱体的底壁限定，或者由所述层叠结构的上表面限定。

15.根据权利要求12所述的谐振器，其中：

所述柱体为实心柱体，所述盘状结构为整体盘面结构。