[发明专利]一种高真空高温运行装置上窗口法兰的局部冷却结构

权利要求书

1.一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：包括内密封结构(1)，内密封结构(1)的内壁为内密封面(2)，内密封面(2)的形状与内部零件的形状相匹配，在内密封结构(1)上方端面设置外密封结构体(4)，外密封结构体(4)下方与内密封结构(1)固定连接，外密封结构体(4)的下端形成外密封面(9)，外密封结构体(4)上方设置外密封压盘(13)，外密封结构体(4)与外密封压盘(13)之间设置诊断窗口(10)。

2.如权利要求1所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：外密封结构体(4)与内密封结构(1)的连接面形成空腔，该空腔为冷却通道(5)，冷却通道(5)通过外置进出冷却管道(7)与外部连通，外置进出冷却管道(7)与外密封结构体(4)固定连接。

3.如权利要求2所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：所述的内密封结构(1)和外密封结构体(4)通过第一超高真空密封焊(3)固定连接。

4.如权利要求3所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：所述的外置进出冷却管道(7)与外密封结构体(4)通过第二超高真空密封焊(6)固定连接。

5.如权利要求4所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：外密封结构体(4)上设置内密封螺钉孔(12)，通过设置在内密封螺钉孔(12)内的螺钉，将外密封结构体(4)固定与法兰刀口面连接。

6.如权利要求5所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：外密封结构体(4)和外密封压盘(13)上设置位置匹配的螺钉孔，两个位置匹配后形成外密封螺钉孔(11)，通过设置在外密封螺钉孔(11)中的螺钉将外密封结构体(4)和外密封压盘(13)固定连接。

7.如权利要求6所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：所述的冷却通道(5)沿外密封结构体(4)的外密封面(9)布置满一周以上。

8.如权利要求7所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：所述的外密封结构体(4)与诊断窗口(10)之间还设置冷却密封圈(8)。

9.如权利要求8所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：第一超高真空密封焊3和第二超高真空密封焊6的真空漏率小于1.0×10^-10Pam³/sec。

10.如权利要求9所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：内密封面(2)为高真空台阶密封结构或刀口密封结构，该密封结构与装置的真空法兰结构匹配，所述外密封面(9)为高光洁度密封面。

11.如权利要求10所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：所述冷却通道(5)为水冷通道或气冷通道。

12.如权利要求11所述的一种高真空高温烘烤运行装置上法兰的局域冷却结构，其特征在于：在外密封结构体(4)中设置波纹管，该波纹管将外密封结构体(4)分为内外两部分。